閉式T形工作臺結(jié)合面結(jié)構(gòu)對氣浮導(dǎo)軌性能的影響
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【摘要】:閉式T形工作臺在加工過程中選擇不同的工藝方法導(dǎo)致結(jié)合面結(jié)構(gòu)變化對氣浮導(dǎo)軌性能的影響是不容忽視的。通過建立一體式和組合式兩種結(jié)構(gòu)的氣浮導(dǎo)軌氣膜面有限元模型,對其壓力場分布、承載力、剛度和耗氣量進行分析、對比。通過分析發(fā)現(xiàn):砂輪越程槽會影響氣膜結(jié)合面處的壓力場分布,進而造成導(dǎo)軌承載能力的變化,但對耗氣量的影響并不明顯;與一體式導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)相比,組合式導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)明顯提高了各氣膜及導(dǎo)軌的承載力。結(jié)果表明:使用組合式的結(jié)合面結(jié)構(gòu)形式不但能降低加工難度和材料成本,還能獲得較大的承載力。
【作者單位】: 嶺南師范學(xué)院機電工程研究所;廣東工業(yè)大學(xué)機電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】: 氣浮工作臺 有限元 承載力 剛度 耗氣量
【基金】:國家自然科學(xué)基金項目(50775043) 廣東省自然科學(xué)基金項目(S2013010013385) 嶺南師范學(xué)院校級青年項目資助(11701)
【分類號】:TH703.4
【正文快照】: 1引言靜壓氣浮導(dǎo)軌和直線電機驅(qū)動技術(shù)的超精密氣浮定位工作平臺,是以氣體作為潤滑劑,在工作平臺和靜止導(dǎo)軌面之間產(chǎn)生氣膜,使兩者在無接觸的情況下實現(xiàn)相對運動的支撐元件[1]。與電磁軸承相比,它具有結(jié)構(gòu)簡單、制造容易和便于推廣的優(yōu)點;與傳統(tǒng)滾動軸承和油潤滑軸承相比,它更
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本文編號:1097793
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