本文關(guān)鍵詞：新型AFM原子分辨率導(dǎo)電探針技術(shù)研究

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【摘要】：目的制備新型導(dǎo)電探針,解決目前探針針尖曲率半徑較粗、飽磁力大、調(diào)頻困難、不容易得到高分辨圖像等問題。方法向Si探針針尖蒸鍍導(dǎo)電金屬薄膜得到導(dǎo)電薄膜Si探針,鍍Fe薄膜厚度約為幾納米,同時保證探針的曲率半徑約10 nm。利用透射電鏡觀察和超高真空原子力顯微鏡掃描鍍膜前后探針Na Cl(001)表面,分析其性能。結(jié)果自制的Fe薄膜Si探針由于蒸鍍了金屬薄膜,探針針尖性能穩(wěn)定,Si探針掃描效果的懸掛鍵影響被消除,同時提高了系統(tǒng)的掃描分辨率。結(jié)論導(dǎo)電薄膜Si探針能夠充分利用現(xiàn)有的儀器設(shè)備進行實驗,具有造價低、使用簡單、性能穩(wěn)定等優(yōu)點,可以作為將來磁交換力顯微鏡(MEx FM)的磁性探針來測試材料的表面磁信息。
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測試技術(shù)重點實驗室;中北大學(xué)儀器科學(xué)與動態(tài)測試教育部重點實驗室;中北大學(xué)儀器與電子學(xué)院;大阪大學(xué)工學(xué)研究科;
【關(guān)鍵詞】： 導(dǎo)電薄膜 Si探針 原子分辨率 磁交換力顯微鏡
【基金】：國家自然科學(xué)基金重點支持項目(91336110);國家自然科學(xué)基金杰出青年基金(51225504);國家自然科學(xué)基金(61274103)~~
【分類號】：TB306;TH742
【正文快照】： Received:2014-09-15;Revised:2014-10-224.大阪大學(xué)工學(xué)研究科精密科學(xué)應(yīng)用物理學(xué)專攻,日本大阪565-0871)(1.National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology,North University of China,Taiyuan 030051,China;2.Key Laboratory of Instrumentation Science

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本文編號：1080434