本文關鍵詞：基于多光束干涉的長程輪廓儀

  更多相關文章： 測量 長程輪廓儀 分束器 多光束干涉

【摘要】：為提高長程輪廓儀(LTP)面型檢測的精度,提出一種使用波面型等光程多光束分束器的LTP。該分束結構可將入射光束分成若干束等光強等光程的相干光。在理論上分析計算了傅里葉變換(FT)透鏡焦平面上干涉條紋的位置和強度分布,探究了零級干涉主極大條紋寬度、振幅和±1級干涉主極大條紋振幅與多光束分束器各結構參數(shù)之間的關系。通過選取合適的參數(shù)設計了基于多光束干涉原理的新型分束器,并與傳統(tǒng)分束器進行了仿真實驗比較,設計了測量系統(tǒng)中的準直鏡和FT透鏡,在Zemax軟件中建立了完整的光學系統(tǒng)模型,并對該模型進行了實驗驗證。結果表明多光束干涉長程輪廓儀可以實現(xiàn)對被測表面斜率的測量,其在探測面上的干涉條紋寬度比傳統(tǒng)雙光束干涉窄,光強也更加集中,可以提高LTP的測量精度。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 應用光學國家重點實驗室;中國科學院大學;
【關鍵詞】： 測量 長程輪廓儀 分束器 多光束干涉
【基金】：國家自然科學基金青年科學基金(41104122) 科技部國際合作項目(2011DFR10010)
【分類號】：TH741
【正文快照】： 1引言長程輪廓儀(LTP)是檢測同步輻射元件面型的主要光學儀器,廣泛應用在世界多個同步輻射實驗室中[1]。LTP基于細光束干涉原理[2-3],通過測量0323001-1被測干涉條紋與參考干涉條紋位置的偏移得到被測表面的斜率,最終獲得被測表面的面型數(shù)據(jù)。LTP的結構最早由Takacs等[4]在198

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 李順;鞏巖;;長程輪廓儀用于筒狀超光滑表面測量的誤差分析及校正[J];光學學報;2011年11期

2 葉海仙;楊李茗;;Accuracy and analysis of long-radius measurement with long trace profiler[J];Chinese Optics Letters;2011年10期

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 廖家勝;鞏巖;張巍;李晶;李春才;姚長呈;閔林;;長程輪廓儀菲涅耳雙棱鏡對分束結構[J];光學學報;2014年01期

2 梁旭;王軍華;徐敏;;提高輪廓儀對大曲率半徑表面形貌測量精度的研究[J];激光與光電子學進展;2012年07期

3 陳寶剛;明名;呂天宇;;大口徑球面反射鏡曲率半徑的精確測量[J];中國光學;2014年01期

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 李順;軟X射線掠入射成像光學系統(tǒng)設計與檢測技術研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2012年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 梁旭;折—衍二元鏡片的SPDT制造及檢測技術的研究[D];復旦大學;2012年

【二級參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 李保權,朱光武,王世金,林華安,彭吉龍,劉杰,韋飛,孔令高,陳波,鞏研,邵景洪,馬長生,唐玉華,邱科平;太陽X-EUV成像望遠鏡[J];地球物理學報;2005年02期

2 崔天剛;王永剛;馬冬梅;馬文生;陳波;;Wolter Ⅰ型反射鏡面形在線檢測裝置設計[J];光學精密工程;2010年08期

3 匡裕光;X射線成象望遠鏡光學設計[J];光學學報;1981年03期

4 李直,趙洋,李達成,肖體喬,夏紹建;衍射型長程大型非球面輪廓測量儀[J];光學學報;2002年10期

5 李順;鞏巖;;掠入射光學系統(tǒng)設計[J];光學學報;2009年08期

6 崔天剛;張宏吉;馬文生;陳波;;Wolter Ⅰ型反射鏡面形檢測裝置的改進[J];光學學報;2011年04期

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 陳林森,吳建宏;連續(xù)變束比全息分束器[J];儀器儀表學報;1993年03期

2 楊建;提高2464表測量精度的一種辦法[J];電機技術;2002年03期

3 劉學江;劉曉婭;王會剛;劉靜;;巧用摔歪的尋邊器[J];機械工程師;2006年05期

4 楊義群;關于失真度的精確測量[J];電測與儀表;1973年10期

5 毛英泰;關于提高測量精度的幾個問題[J];長春理工大學學報;1979年01期

6 楊于興,謝蔚,王強;示差定峰法的研究及其應用[J];儀器儀表學報;1987年03期

7 趙恩光;大尺寸長度測量精度的現(xiàn)狀調(diào)查報告[J];工具技術;1964年03期

8 龔樹志;提高內(nèi)燃機缸內(nèi)壓力測量精度的研究[J];華中科技大學學報(自然科學版);1988年01期

9 國承山，蔡履中，黃萍;全息分束器[J];應用激光;1996年03期

10 關志遠;;表面測量干涉儀的設計和應用[J];光學精密工程;1976年05期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 趙立秋;賀耀輝;;工程測量在市政工程施工中的應用[A];土木建筑學術文庫（第7卷）[C];2007年

2 石景元;;如何提高外業(yè)水深測量的精度[A];中國航海學會航標專業(yè)委員會測繪學組學術研討會學術交流論文集[C];2009年

3 鄒春華;張堅琳;;三相交流相角的高精度測量[A];第八屆全國信息獲取與處理學術會議論文集[C];2010年

4 張為民;王勇;;FG5/112近年來在中國大陸高精度絕對重力測量[A];湖北省測繪學會2004年度科學技術交流會論文集[C];2005年

5 徐立;;高速鐵道工程測量精度和測量模式[A];鐵路客運專線建設技術交流會論文集[C];2005年

6 丁喜冬;熊小敏;黃元士;林國淙;張進修;;共振吸收譜儀測量系統(tǒng)的研制[A];全國第六屆固體內(nèi)耗與超聲衰減學術會議論文集[C];2001年

7 梁敏華;陳濤;;CMOS相機取代高速攝影機應用研究[A];第六屆全國信息獲取與處理學術會議論文集（1）[C];2008年

8 毛君峰;張世宏;;孔板流量計節(jié)流件孔口前緣銳度變化對其測量精度的影響[A];江蘇省計量測試學術論文集（2010）[C];2010年

9 趙岳生;鄧正隆;林玉榮;;使用低精度光學陀螺進行地速測量的實驗研究[A];慣性技術發(fā)展動能發(fā)展方向研討會論文集[C];2004年

10 董樹榮;王德苗;金浩;;微擾和標定技術測量薄膜微波介電常數(shù)[A];全國薄膜技術學術研討會論文集[C];2006年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 記者 陳超;日“大地”號衛(wèi)星測量精度不足[N];科技日報;2008年

2 姚睿;田家庵發(fā)電廠QC成果喜獲省級一等獎[N];淮南日報;2008年

3 張雷;王安民 思則變的實踐[N];中國航天報;2006年

4 劉海燕邋陳國玲 記者 于莘明;遠望五號航天測量船海上校飛完成[N];科技日報;2007年

5 記者 王進;德公司來華推介激光測量技術[N];中國船舶報;2008年

6 諶付剛 劉海燕 記者　 于莘明;遠望三號船綜合技能全面提高[N];科技日報;2006年

7 劉海燕邋彭梅;“遠望五號”綜測能力全面提高[N];光明日報;2008年

8 ;精密測試技術的展望（下）[N];電子報;2008年

9 BXT Technologies 朱輝;解析無源互調(diào)測試三大方式[N];通信產(chǎn)業(yè)報;2008年

10 德州儀器公司 Michael Vega;針對單節(jié)電池供電應用的電量監(jiān)測技術（1）[N];電子報;2008年

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 李杰;APS星敏感器關鍵技術的研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2005年

2 韓中合;汽輪機排汽濕度微波諧振腔測量技術的研究[D];華北電力大學（河北）;2006年

3 李曉平;WDM薄膜濾光片和分束器的設計與制造研究[D];華中科技大學;2005年

4 趙鈞;飛行器動平衡測試技術的實驗研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2007年

5 丁永前;固體顆粒料質(zhì)量流量檢測方法的研究[D];南京農(nóng)業(yè)大學;2009年

6 周蘭;量子信息處理的原理和光學實現(xiàn)的研究[D];湖南師范大學;2005年

7 浦世亮;基于激光干涉原理的顆粒場測量技術研究[D];浙江大學;2007年

8 雷兵;共腔耦合式光纖激光器相干合成技術研究[D];國防科學技術大學;2009年

9 許聰;電阻與超聲雙模態(tài)油氣水多相流測量方法研究[D];天津大學;2012年

10 王曉東;大視場高精度星敏感器技術研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2003年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王春利;電光有機聚合物1×2MMI分束器研究[D];電子科技大學;2011年

2 鄭拓;同軸雙波導光纖分束器的制作及其特性研究[D];哈爾濱工程大學;2013年

3 何靈娟;超微光子晶體型三波長分束器的設計與研究[D];南昌大學;2012年

4 李娟;兩種基于MIM型表面等離子體波導的分束器的傳輸特性研究[D];山西大學;2012年

5 步鵬;提高傅里葉變換輪廓術測量精度及速度的方法研究[D];四川大學;2004年

6 王海濤;聚合物Y分支分束器的研究[D];吉林大學;2005年

7 宋朋;線性光學器件和量子糾纏的研究[D];曲阜師范大學;2004年

8 蔣青林;高速公路動態(tài)稱重系統(tǒng)設計與開發(fā)[D];長安大學;2009年

9 談繼斌;可控光子晶體波導分束器的特性研究[D];南京郵電大學;2013年

10 喬鬧生;CCD的非線性對FTP測量精度的影響研究[D];四川大學;2005年

，

本文編號：1079975