本文關(guān)鍵詞：AFM壓電陶瓷驅(qū)動器類Hammerstein建模與參數(shù)辨識

  更多相關(guān)文章： 壓電陶瓷驅(qū)動器 非線性建模 Hammerstein模型 系統(tǒng)辨識 支持向量機

【摘要】：AFM(Atomic Force Microscope,原子力顯微鏡)中的壓電陶瓷驅(qū)動器具有率相關(guān)遲滯非線性特性,這會影響AFM的掃描和定位精度。針對傳統(tǒng)靜態(tài)遲滯模型不能反映系統(tǒng)率相關(guān)動態(tài)遲滯特性的缺陷,提出Hammerstein模型以描述壓電陶瓷驅(qū)動器的靜態(tài)和動態(tài)遲滯特性。利用最小二乘支持向量機結(jié)合奇異值分解法對模型中的參數(shù)進行辨識。實驗結(jié)果表明,模型能體現(xiàn)壓電陶瓷驅(qū)動器的率相關(guān)遲滯特性,精度高于傳統(tǒng)靜態(tài)遲滯模型,建模方法對此類系統(tǒng)具有較好的應(yīng)用價值。
【作者單位】： 中南大學(xué)高性能復(fù)雜制造國家重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 壓電陶瓷驅(qū)動器 非線性建模 Hammerstein模型 系統(tǒng)辨識 支持向量機
【基金】：國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃基金項目(973)(2011CB013104)
【分類號】：TH703
【正文快照】： AFM中的壓電陶瓷驅(qū)動器是掃描和成像系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件[1],其響應(yīng)速度快,具有納米級的定位精度。但同時其輸入輸出表現(xiàn)為非光滑、多值映射的遲滯回環(huán)特性,即同一個輸入電壓值可能對應(yīng)多個輸出位移[2],若不對遲滯進行補償,則會影響AFM掃描和定位精度,導(dǎo)致成像的畸變。因此,研究

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本文編號：1077357