本文關(guān)鍵詞：基于雙激光束的微型光熱驅(qū)動器研究

  更多相關(guān)文章： 雙激光束 光熱偏轉(zhuǎn)量 微型光熱驅(qū)動器(OTMA) 光熱膨脹

【摘要】：實現(xiàn)了一種利用雙激光束(雙光斑)的微型光熱驅(qū)動的器(OTMA)。利用準(zhǔn)分子激光微加工系統(tǒng)加工制作了膨脹臂寬為100μm、總長為750μm的非對稱型OTMA;利用波長650nm的雙激光束開展了OTMA的光熱驅(qū)動實驗研究,借助CCD顯微視頻運動測量系統(tǒng),測定了光熱偏轉(zhuǎn)量與激光功率之間的關(guān)系曲線。實驗結(jié)果表明,OTMA的光熱偏轉(zhuǎn)量與激光總功率之間近似成線性關(guān)系;當(dāng)雙光斑功率為4 mW時,OTMA獲得的光熱偏轉(zhuǎn)量達(dá)到15.2μm,大于單光斑分別照射時的偏轉(zhuǎn)量之和(13.1μm);同時,當(dāng)雙光斑照射與單光斑照射獲得的光熱偏轉(zhuǎn)量相同時,雙光斑的功率密度僅為單光斑的1/2甚至更小,從而可有效地避免單光斑照射時因局部溫升過高而導(dǎo)致OTMA燒結(jié)損壞,延長了器件的工作壽命。本文的OTMA結(jié)構(gòu)簡單,易于加工,偏轉(zhuǎn)量大,易于操作,并且可以實現(xiàn)無線遠(yuǎn)距離控制;可望在微納米技術(shù)及微型光機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用。
【作者單位】： 浙江大學(xué)現(xiàn)代光學(xué)儀器國家重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 雙激光束 光熱偏轉(zhuǎn)量 微型光熱驅(qū)動器(OTMA) 光熱膨脹
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51077117)資助項目
【分類號】：TH703
【正文快照】： 1引言隨著微納米技術(shù)及微型光機(jī)電系統(tǒng)(MO-EMS)的快速發(fā)展,對微型驅(qū)動技術(shù)及微型驅(qū)動機(jī)構(gòu)提出了新的要求。根據(jù)原理和技術(shù)方法的不同,現(xiàn)有的微驅(qū)動技術(shù)主要有微特電磁馬達(dá)[1]、靜*E-mail:zhanghj@zju.edu.cn電馬達(dá)[2]、壓電驅(qū)動[3,4]、磁致伸縮驅(qū)動[5,6]、形狀記憶合金驅(qū)動和

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本文編號：1074313