本文關(guān)鍵詞：非線性振動條件下估算諧振梁品質(zhì)因數(shù)

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【摘要】：硅微諧振式加速度計在真空封裝后出現(xiàn)非線性振動,導(dǎo)致測量品質(zhì)因數(shù)的常規(guī)方法失效。為了能對真空封裝的加速計進行精確監(jiān)測,提出了一種品質(zhì)因數(shù)測量方法。該方法基于諧振梁的非線性振動模型,通過將掃頻數(shù)據(jù)按照模型公式擬合得到品質(zhì)因數(shù),適用于非線性振動時的情況。利用諧振式加速度計進行實驗,驗證了該方法的一致性和準確性,測得加速度計品質(zhì)因數(shù)均在2×105以上。使用該方法對真空封裝的氣壓與品質(zhì)因數(shù)的關(guān)系進行了研究,表明真空封裝的氣壓保持在0.1Pa左右;并對真空封裝進行了溫度實驗和長期跟蹤,證明了真空封裝的可靠性。
【作者單位】： 清華大學(xué)精密儀器系精密測試技術(shù)及儀器國家重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 諧振加速度計 非線性振動 品質(zhì)因數(shù) 真空封裝
【基金】：總裝“十二五”預(yù)研項目(20114113015)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 諧振器由于微尺寸效應(yīng),一般需要依靠一定的真空環(huán)境才能良好工作。這類傳感器要實現(xiàn)更高的分辨率和更大的動態(tài)范圍等,就需要獲得更低的阻尼及更高的品質(zhì)因數(shù)[1-2]。品質(zhì)因數(shù)反映了器件封裝內(nèi)部的真空度,其穩(wěn)定性是傳感器性能的重要影響因素[3]。美國Draper實驗室研制的硅微諧，

本文編號：1068925