本文關(guān)鍵詞：FPN的影響因素分析及相關(guān)應(yīng)用

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【摘要】：鋼筆納米刻蝕技術(shù)(Fountain pen nanolithography,FPN)是近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的一種新型的基于原子力顯微鏡(Atomic force microscope,AFM)的掃描探針刻蝕技術(shù),具有加工結(jié)構(gòu)精度高、加工過(guò)程操作性強(qiáng)、對(duì)加工環(huán)境要求低、持續(xù)書(shū)寫(xiě)等優(yōu)點(diǎn)。FPN刻蝕過(guò)程主要受探針的孔徑大小、空氣濕度、接觸時(shí)間、書(shū)寫(xiě)速度、墨水的特性等因素影響。在介紹FPN相關(guān)原理及影響因素的基礎(chǔ)上,綜合介紹了包括電化學(xué)FPN技術(shù)(Electrochemical FPN,EcFPN)和主動(dòng)控制技術(shù)FPN(Active FPN,AFPN)在內(nèi)的FPN相關(guān)技術(shù)研究的最新成果及其在生物領(lǐng)域、微電子領(lǐng)域和光學(xué)器件方面的相關(guān)應(yīng)用。
【作者單位】： 蘇州大學(xué)江蘇省先進(jìn)機(jī)器人技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;蘇州大學(xué)蘇州納米科技協(xié)同創(chuàng)新中心;
【關(guān)鍵詞】： 鋼筆納米刻蝕技術(shù) 原子力顯微鏡 電化學(xué)FPN技術(shù)
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51205267)
【分類號(hào)】：TH742
【正文快照】： 0引言1981年,G.Bining等在IBM蘇黎世實(shí)驗(yàn)室發(fā)明了第一臺(tái)掃描探針顯微鏡(Scanning probe microscope,SPM)-掃描隧道顯微鏡(Scanning tunneling microscope,STM),并因而獲得了1986年的諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)[1]。隨著以掃描隧道顯微鏡(STM)和原子力顯微鏡(AFM)為代表的掃描探針顯微鏡的

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

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中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

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中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

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【相似文獻(xiàn)】

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中國(guó)重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 創(chuàng)文;本原納米儀器公司承擔(dān)863課題[N];科技日?qǐng)?bào);2008年

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中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

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5 楊春來(lái);超聲振動(dòng)原子力顯微鏡成像研究[D];中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué);2013年

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中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 孫曉鳳;電化學(xué)原子力顯微鏡的研制[D];華東師范大學(xué);2010年

2 邱晗;基于原子力顯微鏡的納米梁諧振器振動(dòng)特性的測(cè)試技術(shù)研究[D];天津大學(xué);2009年

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5 李陽(yáng);液橋?qū)υ恿︼@微鏡成像的影響[D];北京化工大學(xué);2013年

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8 劉晗;原子力顯微鏡掃描量子點(diǎn)的微懸臂動(dòng)力學(xué)研究[D];大連理工大學(xué);2005年

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10 劉坤;原子力顯微鏡定位系統(tǒng)控制策略及誤差補(bǔ)償方法研究[D];燕山大學(xué);2010年

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本文編號(hào)：1067561