本文關鍵詞：基于新型探針的雙頻原子力顯微系統(tǒng)開發(fā)

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【摘要】：傳統(tǒng)原子力顯微鏡(AFM)在接觸模式下工作時具有接觸力較大、易損傷樣品的缺點.本文通過對新型自感應音叉探針施加雙頻激勵,使得AFM工作在輕敲模式下,減小了接觸力和掃描過程中的側(cè)向力影響,實現(xiàn)了樣品表面力學特性和亞表面結(jié)構(gòu)的表征.然后利用基于DSP的PI反饋控制模塊,完成了線掃描實驗,證明該雙頻原子力顯微測量系統(tǒng)具有較好的測量能力.
【作者單位】： 精密測試技術(shù)及儀器國家重點實驗室(天津大學);
【關鍵詞】： 原子力顯微鏡 音叉探針 雙頻激勵 諧振頻率 彈性模量
【基金】：天津市應用基礎與前沿技術(shù)研究計劃重點資助項目(14JCZDJC39400)
【分類號】：TH742
【正文快照】： 近年來隨著科學技術(shù)的高速發(fā)展,觀察、測量以及操縱納米尺度的物體逐漸成為熱門研究領域.原子力顯微鏡(AFM)依靠探針與被測樣品之間存在的微弱原子力來檢測物質(zhì)表面形貌結(jié)構(gòu),突破了掃描隧道顯微鏡(STM)最大的技術(shù)瓶頸,實現(xiàn)了非導電樣品表面結(jié)構(gòu)的觀測.AFM可以獲得樣品表面微小

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