本文關(guān)鍵詞：用計(jì)算全息法測(cè)量長(zhǎng)焦透鏡的透射波前

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【摘要】：為了高精度地檢測(cè)長(zhǎng)焦透鏡的透射波前,提出了在Zygo干涉儀的平面光路中加入一個(gè)二元衍射元件提供參考波前的計(jì)算全息法(CGH)。介紹了計(jì)算全息法檢測(cè)長(zhǎng)焦透鏡透射波前的理論,設(shè)計(jì)并研制了高精度計(jì)算全息板,并將其用于大口徑長(zhǎng)焦距透鏡透射波前檢測(cè)。理論分析和實(shí)際檢測(cè)結(jié)果表明:該方法系統(tǒng)誤差小,測(cè)量重復(fù)性精度優(yōu)于0.004λ(2σRMS),與常規(guī)的菲索干涉法測(cè)量球面透鏡透射波前得到的結(jié)果一致,從而驗(yàn)證了提出測(cè)量方法的可靠性。最后,詳細(xì)分析了二元衍射元件的制造誤差對(duì)透射波前檢測(cè)的影響,得到測(cè)量誤差(PV)小于λ/10。文中的結(jié)果表明提出的計(jì)算全息法可有效縮短光路,提高測(cè)量精度,對(duì)長(zhǎng)焦透鏡波前檢測(cè)有重要的應(yīng)用價(jià)值。
【作者單位】： 中國(guó)物理工程研究院激光聚變研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 長(zhǎng)焦透鏡 透射波前 光學(xué)檢測(cè) 干涉檢測(cè) 計(jì)算全息術(shù) 誤差分析
【基金】：中物院校準(zhǔn)和測(cè)試實(shí)驗(yàn)室研究項(xiàng)目(No.155009)
【分類(lèi)號(hào)】：TH74
【正文快照】： 1引言現(xiàn)代光學(xué)發(fā)展對(duì)光學(xué)元件的需求日趨增大。為保證光學(xué)系統(tǒng)的性能,要求光學(xué)元件的加工精度小于1個(gè)波長(zhǎng),由此發(fā)展了很多高精度的光學(xué)測(cè)試方法[1-3]。透鏡的焦距、曲率半徑、折射率、波前等參數(shù)的檢測(cè)在很多應(yīng)用領(lǐng)域都非常重要,其中,透鏡的波前參數(shù)可提供透鏡表面質(zhì)量方面的

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2 本期主持 燒包少爺;長(zhǎng)焦拍遠(yuǎn)景細(xì)節(jié)的技巧[N];中國(guó)計(jì)算機(jī)報(bào);2004年

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本文編號(hào)：1060861