本文關(guān)鍵詞：壓電驅(qū)動器建模與控制技術(shù)研究

  更多相關(guān)文章： 壓電驅(qū)動器 遲滯效應(yīng) 非線性建模 前饋控制 反饋控制

【摘要】：該文對壓電驅(qū)動器建模與控制技術(shù)進(jìn)行了研究。通過二階系統(tǒng)描述了壓電驅(qū)動器的線性動態(tài)特性�；赑reisach遲滯模型,提出了全新的簡化模型,避免了Preisach模型中復(fù)雜的雙重積分運(yùn)算。通過前饋與反饋控制技術(shù)相結(jié)合,為壓電驅(qū)動器設(shè)計了一個綜合控制器。在前饋控制器中,通過Preisach模型描述逆遲滯環(huán),有效解決了Preisach模型不可逆的問題。通過比例、積分、微分(PID)反饋控制器,有效提高了系統(tǒng)魯棒性,并有效補(bǔ)償了前饋控制器中模型不精確帶來的誤差。最終,通過實驗分別驗證了模型的有效性及控制器的控制作用。
【作者單位】： 華東理工大學(xué)機(jī)械與動力工程學(xué)院復(fù)雜與智能系統(tǒng)實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 壓電驅(qū)動器 遲滯效應(yīng) 非線性建模 前饋控制 反饋控制
【基金】：國家自然科學(xué)基金面上資助項目(51375166)
【分類號】：TH703
【正文快照】： 0引言納米檢測與計量技術(shù)(如原子力顯微鏡(AFM)、掃描隧道顯微鏡(STM)[1])的發(fā)展是納米技術(shù)發(fā)展的另一重要前提。在以上的納米技術(shù)中,關(guān)鍵問題是如何實現(xiàn)納米精度定位。壓電驅(qū)動器因其驅(qū)動精度高,驅(qū)動力大和驅(qū)動頻率高的特點,在精密定位系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛。現(xiàn)有研究表明,壓電驅(qū)動

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