本文關(guān)鍵詞：面向微型近紅外光譜儀的高效掃描光柵微鏡設(shè)計(jì)（英文）

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【摘要】：近年來,隨著微光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS)技術(shù)的快速發(fā)展,光譜儀朝著微型化、低成本、高性能方向發(fā)展�；贛OEMS技術(shù)制作的閃耀光柵可集成于掃描微鏡,其作為近紅外光譜儀的核心部件,可實(shí)現(xiàn)單管探測(cè)器代替昂貴的陣列式探測(cè)器,以降低近紅外光譜儀成本與體積。設(shè)計(jì)了一種高性能掃描光柵微鏡,以提高光譜儀的探測(cè)靈敏度。掃描微鏡表面集成高衍射效率光柵,背面制作電磁驅(qū)動(dòng)線圈。采用光學(xué)軟件與有限元方法對(duì)器件參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化。仿真結(jié)果表明:掃描光柵微鏡諧振頻率為484.38Hz,最大扭轉(zhuǎn)角度為±4.55°,在800~1800nm工作波長(zhǎng)范圍內(nèi),整體動(dòng)態(tài)衍射效率在54%以上且最大值達(dá)90%。
【作者單位】： 重慶大學(xué)新型微納器件與系統(tǒng)技術(shù)國防重點(diǎn)學(xué)科實(shí)驗(yàn)室;重慶大學(xué)微系統(tǒng)研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 掃描光柵微鏡 高衍射效率 近紅外光譜儀 電磁驅(qū)動(dòng)
【基金】：supported by the Special Funds of the National Natural Science Foundation of China(61327002)
【分類號(hào)】：TH744.1
【正文快照】： Nowadays,NIR　micro-spectrometers　have　been　widely　used　to　investigate　the　quality　of　foods,air　pollu-tion　and　medical　applications.Conventional　NIR　spectrometers　have　a　series　of　disadvantages,such　as　largepower　consumption,high

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