發(fā)布時間：2017-10-17 15:37

  本文關鍵詞：一種連續(xù)加載的氣浮導軌靜剛度在位測量方法

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【摘要】：根據(jù)空氣靜壓導軌靜態(tài)性能測試要求,提出了一種連續(xù)加載的氣浮導軌靜剛度在位測量方法。采用兩臺電感測微儀測量導軌滑臺的位移量、小水泵抽水,以及電子稱測量加載質量變化的方式,實現(xiàn)了對空氣靜壓導軌連續(xù)加載和負載變化量與氣膜間隙變化量的測量,實驗結果與理論分析結果有較好的一致性,說明該實驗方法是合理的,同時也表明了將該方法在空氣靜壓導軌的靜態(tài)性能測試中應用的可行性。
【作者單位】： 中國工程物理研究院機械制造工藝研究所;
【關鍵詞】： 空氣靜壓 氣浮導軌 氣膜間隙 靜剛度
【分類號】：TH703
【正文快照】： 0引言空氣靜壓導軌具有摩擦小、壽命長、速度快、精密度高和無污染等優(yōu)點,常被應用于三坐標測量儀、光刻機等精密機械[1-2]。對氣浮支撐關鍵單元———氣浮導軌靜態(tài)性能的研究十分必要,對其靜態(tài)性能的研究可以分為數(shù)值仿真分析和實驗研究。數(shù)值仿真分析是以計算機及其相應的軟

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本文編號：1049648