本文關(guān)鍵詞：工業(yè)型掃描探針顯微系統(tǒng)樣品快速定位方法

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【摘要】：針對(duì)工業(yè)型掃描探針顯微鏡(SPM)在大尺寸晶圓樣品檢測(cè)中對(duì)掃描區(qū)域進(jìn)行粗定位的需要,提出了一種基于數(shù)字圖像處理的快速定位方法.該方法首先實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面的快速自動(dòng)聚焦,之后利用圖像匹配技術(shù)尋找樣品表面的定位標(biāo)記,最后通過(guò)坐標(biāo)變換得到各待測(cè)區(qū)域在系統(tǒng)坐標(biāo)系下的位置.根據(jù)晶圓樣品表面的特征,在自動(dòng)聚焦過(guò)程中選取Robert算子作為聚焦評(píng)價(jià)函數(shù),并以變步長(zhǎng)的爬坡策略搜索焦平面;在圖像匹配過(guò)程中采用SURF算法提取圖像上的標(biāo)記特征,并利用雙向匹配方式提高匹配準(zhǔn)確性.實(shí)驗(yàn)表明,采用該方法實(shí)現(xiàn)粗定位耗時(shí)小于30s,定位誤差小于5μm.
【作者單位】： 天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 工業(yè)型掃描探針顯微鏡 自動(dòng)聚焦 圖像匹配 定位方法
【基金】：國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(863計(jì)劃)資助項(xiàng)目(2012AA041204) 國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61204117)
【分類號(hào)】：TH742
【正文快照】： 掃描探針顯微鏡(SPM)具有亞納米級(jí)的超高分辨力,在微納米尺度的材料結(jié)構(gòu)表征和物理特性檢測(cè)方面有著廣泛的應(yīng)用[1].實(shí)驗(yàn)室中科研型的SPM通常只用于檢測(cè)小尺寸樣品,所得形貌圖像僅反映樣品表面起伏而不包含三維結(jié)構(gòu)的側(cè)壁信息[2].工業(yè)型SPM主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè)中的大尺寸(

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本文編號(hào)：1047970