本文關鍵詞：亞表面損傷深度測量的理論研究與實驗分析

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【摘要】：光學元件的亞表面損傷指的是在加工過程中產(chǎn)生的劃痕和裂紋等。在激光的照射下,亞表面損傷會使光場發(fā)生變化,并且隨著激光照射時間的增加,裂紋會越來越大,產(chǎn)生散射,最終影響光束的能量集中度。基于全內(nèi)反射法測量亞表面損傷的原理提出了一種新的估計損傷深度的方法。入射光波和出射光波在樣品表面下方疊加形成駐波,入射光的偏振態(tài)以及入射的角度會影響樣品內(nèi)部的光強分布。通過分析亞表面損傷點的光強度和入射角之間的關系,能夠由入射角的改變量來估算亞表面損傷的深度。
【作者單位】： 南京理工大學電子工程與光電技術(shù)學院;
【關鍵詞】： 測量 光學元件 亞表面損傷 全內(nèi)反射法 駐波理論
【基金】：國家自然科學基金(A030801)
【分類號】：TH74;O43
【正文快照】： 隨著空間光學望遠鏡、受控核聚變,以及光刻技術(shù)的飛速發(fā)展,超光滑表面的光學元件得到了越來越多的應用,因此亞表面損傷的檢測變得越發(fā)重要。它的存在直接影響著光學系統(tǒng)的成像質(zhì)量、激光損傷閾值等重要技術(shù)指標[1-2]。相對于表面的損傷,亞表面損傷不能夠直接測量,目前測量亞表

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1 田愛玲;田玉s，

本文編號：1027793