本文關(guān)鍵詞：一種變頻相移干涉測量的相位提取算法

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【摘要】：相位提取的精度直接影響相移干涉測量的精度。在變頻相移干涉測量中,相移量由干涉腔長和波長變化量決定,必須對測試系統(tǒng)進(jìn)行相位標(biāo)定,但常因相位標(biāo)定不精確而引入相移誤差,影響相位提取的精度。運(yùn)用一種基于迭代的相位求解算法,該算法無需對測試系統(tǒng)進(jìn)行相位標(biāo)定,可以在被測相位和相移量均未知的情況下,通過交替迭代法求解出被測相位。通過仿真比較了傳統(tǒng)四步相移和基于迭代的相位求解算法的相位提取精度,結(jié)果表明,基于迭代的相位求解算法的相位提取精度優(yōu)于傳統(tǒng)四步相移算法的精度。
【作者單位】： 西安工業(yè)大學(xué)陜西省薄膜與檢測技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 測量 變頻相移 相移干涉 相位提取 迭代算法
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51075322) 陜西省教育廳高精度小平面干涉儀研制基金(12JS048)
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 1引言相移干涉測量技術(shù)是光學(xué)表面面形檢測的重要手段之一。通常,相移方法可以分為兩類:硬件相移和變頻相移。變頻相移干涉是通過光源頻率的改變來實(shí)現(xiàn)相位調(diào)制,其光源采用波長可調(diào)諧激光器。該方法測量裝置簡潔,可靠度高,測量精度高,能減少由環(huán)境變化引起的誤差,消除傳統(tǒng)硬件

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本文編號：1026807