本文關(guān)鍵詞：基于扭轉(zhuǎn)諧振模式3D-AFM的微結(jié)構(gòu)側(cè)壁形貌檢測

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【摘要】：針對半導(dǎo)體器件微結(jié)構(gòu)側(cè)壁關(guān)鍵尺寸檢測需求,設(shè)計(jì)了一套三維原子力顯微鏡(3D-AFM)系統(tǒng).該系統(tǒng)采用針尖末梢為喇叭口形的懸臂梁探針,以扭轉(zhuǎn)諧振模式實(shí)現(xiàn)橫向輕敲掃描.介紹了該3D-AFM系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)組成和工作原理,對系統(tǒng)的橫向檢測靈敏度進(jìn)行了標(biāo)定,獲得了喇叭口針尖與樣品側(cè)壁橫向接近過程中探針扭轉(zhuǎn)振幅的變化曲線.利用該系統(tǒng)對柵格標(biāo)樣側(cè)壁局部形貌進(jìn)行了線掃描和面掃描,所得輪廓具有較好的重復(fù)性,且測量所得形貌特征與常規(guī)輕敲模式掃描結(jié)果一致,表明本文所述3D-AFM系統(tǒng)及工作模式能夠用于微結(jié)構(gòu)側(cè)壁形貌的檢測.
【作者單位】： 精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(天津大學(xué));
【關(guān)鍵詞】： 關(guān)鍵尺寸 原子力顯微鏡 喇叭口針尖 扭轉(zhuǎn)諧振 側(cè)壁
【基金】：國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(863計(jì)劃)資助項(xiàng)目(2012AA041204) 國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61204117)
【分類號】：TH742
【正文快照】： 在半導(dǎo)體行業(yè)中,關(guān)鍵尺寸[1](critical dimension)主要指各類柵結(jié)構(gòu)的頂部、側(cè)壁與底部的形貌尺寸以及溝槽深度和側(cè)壁傾角等參數(shù),這些尺寸參數(shù)與器件的電氣性能密切相關(guān).隨著器件集成度的不斷提高,柵結(jié)構(gòu)越來越小,部分關(guān)鍵尺寸如線寬粗糙度(linewidth roughness,LWR)、側(cè)壁粗

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本文編號：1026637