本文關鍵詞：大型中階梯光柵衍射效率測試儀器設計與集成

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【摘要】：光柵衍射效率反映光柵的設計與刻劃質量,對于使用者和制造者均至關重要。針對國內首臺500 mm×400 mm中階梯衍射光柵刻劃機的研制,有必要構建相應的衍射效率測試系統(tǒng),以定量評價光柵的制作水平,為光柵設計與制造工藝的改進提供必要的測試手段。基于串聯(lián)色散相減原理,改進了常規(guī)C-T結構的測量單色儀光路,并對前置單色儀、測量單色儀光路進行聯(lián)合優(yōu)化,設計了待測光柵多維調整臺、探測器組件等。提出了N.A.為0.1的三光柵掃描前置單色儀的標定方法,以及測試儀器的系統(tǒng)誤差修正方法。前置單色儀標定結果表明,其在190~1 100 nm光譜范圍內的波長輸出精度為±2 nm,程控狹縫開啟精度為0.002 mm。修正后的衍射效率測量精度為2%,重復精度為0.5%。初步的測量結果顯示,測試設備可以滿足500 mm×400 mm中階梯光柵衍射效率定量檢測需求,在工作譜段內實現(xiàn)衍射效率-波長連續(xù)曲線的自動測量。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所;中國科學院蘇州醫(yī)學工程技術研究所;
【關鍵詞】： 中階梯光柵 衍射效率 測試儀器 設計與標校
【基金】：國家自然科學基金(61307114) 國家重大科研裝備研制項目(ZDYZ2008-1)資助
【分類號】：O436.1;TH744
【正文快照】： 1引言由Harrision G.R.教授提出的中階梯光柵[1],在光譜分析、天文學、光通信、激光約束核聚變等領域應用廣泛,是高性能光譜儀器的分光元件,具有體積小、質量輕、可簡化儀器結構、無移動部件、利于面陣探測器接收等結構特性,以及高色散、高分辨率、寬譜段、高衍射效率和瞬態(tài)光

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 楊家健;盧小豐;馮曉東;原遵東;;基于LabVIEW的光柵單色儀波長標定裝置[J];電子測量技術;2010年04期

2 陳健;凌振寶;陳鵬飛;王智宏;;近紅外光譜儀數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的研制[J];電子測量與儀器學報;2012年01期

3 王芳;齊向東;于宏柱;于海利;;平面反射光柵衍射效率自動測試儀的設計與分析[J];光譜學與光譜分析;2009年02期

4 楊亮亮;崔慶豐;劉濤;薛常喜;;衍射光學元件衍射效率的測量[J];光學學報;2012年04期

5 張尹馨;楊懷棟;鄧超;黃戰(zhàn)華;金國藩;;高分辨率中階梯光柵-棱鏡交叉色散光路設計[J];光譜學與光譜分析;2013年06期

6 印建平;一種雙光束自動測試光柵絕對與相對光譜衍射效率的原理性方案[J];光電工程;1994年04期

7 曹海霞;巴音賀希格;崔繼承;潘明忠;陳少杰;;凹面光柵衍射效率測量值的影響因素及補償方法研究[J];光譜學與光譜分析;2013年11期

8 杜璧秀;米陽;張淑梅;;變結構控制在高精度轉臺系統(tǒng)中的應用[J];國外電子測量技術;2014年09期

9 馮玉濤;孫劍;李勇;王姝娜;白清蘭;;寬譜段空間外差干涉光譜儀[J];光學精密工程;2015年01期

10 謝品;倪爭技;黃元申;張大偉;張永康;;中階梯光柵的應用研究進展[J];激光雜志;2009年02期

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 劉業(yè)林;林兆祥;張俊龍;常亮;劉林美;;基于LabVIEW平臺的LIBS光譜信號采集系統(tǒng)[J];電子測量技術;2010年11期

2 何淼;唐玉國;陳少杰;巴音賀希格;崔繼承;;中階梯光柵光譜儀信號光斑位置的質心提取算法[J];光譜學與光譜分析;2012年03期

3 劉佳;石磊;李凱;鄭信文;曾立波;吳瓊水;;雙色散二維阿達瑪變換光譜儀[J];光譜學與光譜分析;2012年06期

4 唐玉國;宋楠;巴音賀希格;崔繼承;陳今涌;;中階梯光柵光譜儀的光學設計[J];光學精密工程;2010年09期

5 唐玉國;陳少杰;巴音賀希格;崔繼承;陳今涌;;中階梯光柵光譜儀的譜圖還原與波長標定[J];光學精密工程;2010年10期

6 寇婕婷;吳娜;巴音賀希格;唐玉國;齊向東;于宏柱;;凹面光柵衍射效率測試儀精度分析和優(yōu)化[J];光學精密工程;2012年06期

7 寇婕婷;巴音賀希格;唐玉國;齊向東;于宏柱;;平面光柵效率儀測量過程分析與結果修正[J];光學學報;2011年07期

8 金解云;鄒繼軍;;單晶硅的光譜響應測試技術研究[J];光學儀器;2011年02期

9 潘明忠;劉玉娟;陳少杰;宋楠;崔繼承;;中階梯光柵光譜儀CCD相機的設計[J];光學精密工程;2012年08期

10 張子輝;王淑榮;黃煜;李博;于向陽;林冠宇;;寬波段單色儀多級譜高精度波長定標[J];光譜學與光譜分析;2012年10期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 楊家健;盧小豐;原遵東;馮曉東;張建嶺;;串聯(lián)耦合雙單色儀系統(tǒng)性能實驗研究[A];2010中國儀器儀表與測控技術大會論文集[C];2010年

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前9條

1 劉佳;基于數(shù)字微鏡技術的阿達瑪變換光譜儀若干關鍵技術研究[D];武漢大學;2012年

2 寇婕婷;衍射光柵效率自動測試儀光學系統(tǒng)設計與測量誤差修正方法研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2012年

3 羅彪;面向近紅外微型光譜儀的MOEMS掃描光柵微鏡關鍵技術研究[D];重慶大學;2012年

4 李旭;方孔微通道板極紫外波段成像性能研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2012年

5 陳少杰;寬波段葉階梯光柵光譜儀設計與標定方法研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2013年

6 楊亮亮;多層衍射光學元件衍射效率的研究[D];長春理工大學;2013年

7 劉濤;衍射光學元件的冷反射特性研究[D];長春理工大學;2013年

8 曹海霞;寬波段平面光柵效率測試儀設計及測量誤差補償方法研究[D];中國科學院研究生院(長春光學精密機械與物理研究所);2014年

9 楊超;大尺寸光柵刻槽誤差校正及在線監(jiān)測技術研究[D];中國科學院研究生院(長春光學精密機械與物理研究所);2015年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王勇;激光再現(xiàn)體積全息圖的研究[D];蘇州大學;2011年

2 劉海洋;新型麥汁壓濾機的研究[D];浙江大學;2006年

3 金玉連;大化肥裝置失效分析研究[D];北京化工大學;2006年

4 陳健;寬頻帶時頻電磁接收機關鍵技術研究[D];吉林大學;2012年

5 孫昊;成像法測量取樣光柵衍射效率研究[D];蘇州大學;2012年

6 趙鵬;小型光譜儀數(shù)字化基礎研究[D];天津科技大學;2010年

7 張壘壘;中階梯光柵機械刻劃工藝參數(shù)優(yōu)化研究[D];長春理工大學;2012年

8 于宏柱;全自動光柵衍射效率測試儀設計[D];吉林大學;2013年

9 陳剛;平面光柵衍射效率的測試與分析[D];蘇州大學;2013年

10 萬漢偉;光柵式全自動生化分析儀關鍵技術的研究[D];南昌大學;2013年

【二級參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 沈國權;王昊;郭振東;金仲和;;面向微小衛(wèi)星的紅外靜態(tài)焦平面地球敏感器設計[J];傳感技術學報;2012年05期

2 曹海林;尹朋;王帥濤;楊力生;;一種新型寬帶傅里葉變換波譜儀[J];電子測量與儀器學報;2009年S1期

3 張琪;侯加林;閆銀發(fā);李天華;;基于虛擬儀器的電路板故障檢測與診斷系統(tǒng)的研究[J];電子測量與儀器學報;2011年02期

4 崔茂振;張昌凡;朱劍;;永磁同步電機滑模調速控制及其實現(xiàn)[J];電子測量與儀器學報;2012年01期

5 袁洪福,龍義成,徐廣通,陸婉珍;近紅外光譜儀的研制[J];分析化學;1999年05期

6 陳德偉,李永平;衍射光學元件分析和設計中標量理論的局限性[J];光電工程;2004年06期

7 胡浩軍;毛耀;馬佳光;包啟亮;任戈;;穩(wěn)定轉臺摩擦參數(shù)的測量及其對穩(wěn)定精度的影響[J];光電工程;2007年05期

8 李擁軍;楊文淑;范永坤;熊皚;;高精度轉臺摩擦力矩補償控制器設計與仿真[J];光電工程;2008年12期

9 殷可為;黃智強;林嫵媚;邢廷文;;二元光學元件橫向加工誤差對衍射效率的影響[J];光電工程;2011年09期

10 李葉芳;王曉旭;柳華;;波分復用器在光纖通信中的應用[J];物理與工程;2007年05期

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 楊秀芹;;偶氮乙基橙摻雜聚乙烯醇薄膜自衍射效率的動態(tài)特性分析[J];量子電子學報;2011年02期

2 陳唐榮;趙艮春;戴文海;莊其仁;;用衍射效率比測浮雕矩形光柵參量[J];華僑大學學報(自然科學版);2012年03期

3 劉繼芳,李家立,李育林,忽滿利,張培琨;利用柵增強技術提高光折變多重存儲衍射效率[J];激光雜志;1999年04期

4 王洵,孫炳全;二元光學元件衍射效率的分析與計算[J];撫順石油學院學報;2001年04期

5 李松柏;楊敏;;基于透射型體布拉格光柵衍射效率的研究[J];西南大學學報(自然科學版);2011年09期

6 葉鈞,許喬,侯西云,楊國光;二元光學元件衍射效率的逐層分析法研究[J];光學學報;1996年10期

7 許京軍,張心正,李飛飛,溫海東,劉思敏,張光寅,陸兵,束梅玲;光學自增強效應與衍射效率的提高[J];紅外與毫米波學報;2000年06期

8 范長江;趙亞輝;應朝福;吳浩偉;;寬光譜大視場角的高衍射效率多層衍射元件[J];中國激光;2012年05期

9 韓良凱，，周進，高文崎;二元光學元件的衍射效率及其振幅矢量解法[J];大學物理;1995年10期

10 周進，韓良愷，高文琦，秦亦強;二元光學元件各級光強的分布規(guī)律和衍射效率[J];中國激光;1996年05期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 周昌鶴;周斌;劉春澤;高波;沈軍;倪星元;;ZrO2凝膠色分離光柵的設計和衍射效率測量[A];第十屆中國核靶技術學術交流會摘要集[C];2009年

2 徐悟生;徐玉恒;王繼揚;;Zn:Ho:Fe:LiNbO_3晶體的生長及光折變性能的研究[A];第三屆中國功能材料及其應用學術會議論文集[C];1998年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 崔志超;二維聲光調Q衍射效率研究[D];西安電子科技大學;2010年

2 王濤;紅外折/衍混合系統(tǒng)衍射效率測試[D];浙江大學;2010年

3 房春環(huán);寬波段高衍射效率透射體全息光柵的研制[D];蘇州大學;2012年

4 戈平;DPL中聲光調Q開關衍射效率的角度匹配問題研究[D];西安電子科技大學;2011年

5 徐明;長波紅外成像系統(tǒng)復消色差研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2008年

6 白雪天;聲光衍射過程對緊湊型大功率激光器性能的影響[D];西安電子科技大學;2014年

7 邵潔;數(shù)字化光變圖像處理技術與應用[D];蘇州大學;2002年

8 謝毅;聲光調QDPL中衍射效率及調Q特性的研究[D];西安電子科技大學;2006年

9 姜志遠;鈮酸鋰晶體的性能表征及其在體全息中的應用研究[D];哈爾濱工程大學;2008年

10 張強強;一種新型單級衍射光柵及其衍射效率研究[D];中國工程物理研究院;2014年

本文編號：1025670