本文關(guān)鍵詞：大型中階梯光柵衍射效率測(cè)試儀器設(shè)計(jì)與集成

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【摘要】：光柵衍射效率反映光柵的設(shè)計(jì)與刻劃質(zhì)量,對(duì)于使用者和制造者均至關(guān)重要。針對(duì)國(guó)內(nèi)首臺(tái)500 mm×400 mm中階梯衍射光柵刻劃?rùn)C(jī)的研制,有必要構(gòu)建相應(yīng)的衍射效率測(cè)試系統(tǒng),以定量評(píng)價(jià)光柵的制作水平,為光柵設(shè)計(jì)與制造工藝的改進(jìn)提供必要的測(cè)試手段�；诖�(lián)色散相減原理,改進(jìn)了常規(guī)C-T結(jié)構(gòu)的測(cè)量單色儀光路,并對(duì)前置單色儀、測(cè)量單色儀光路進(jìn)行聯(lián)合優(yōu)化,設(shè)計(jì)了待測(cè)光柵多維調(diào)整臺(tái)、探測(cè)器組件等。提出了N.A.為0.1的三光柵掃描前置單色儀的標(biāo)定方法,以及測(cè)試儀器的系統(tǒng)誤差修正方法。前置單色儀標(biāo)定結(jié)果表明,其在190~1 100 nm光譜范圍內(nèi)的波長(zhǎng)輸出精度為±2 nm,程控狹縫開(kāi)啟精度為0.002 mm。修正后的衍射效率測(cè)量精度為2%,重復(fù)精度為0.5%。初步的測(cè)量結(jié)果顯示,測(cè)試設(shè)備可以滿足500 mm×400 mm中階梯光柵衍射效率定量檢測(cè)需求,在工作譜段內(nèi)實(shí)現(xiàn)衍射效率-波長(zhǎng)連續(xù)曲線的自動(dòng)測(cè)量。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國(guó)科學(xué)院蘇州醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 中階梯光柵 衍射效率 測(cè)試儀器 設(shè)計(jì)與標(biāo)校
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61307114) 國(guó)家重大科研裝備研制項(xiàng)目(ZDYZ2008-1)資助
【分類號(hào)】：O436.1;TH744
【正文快照】： 1引言由Harrision G.R.教授提出的中階梯光柵[1],在光譜分析、天文學(xué)、光通信、激光約束核聚變等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,是高性能光譜儀器的分光元件,具有體積小、質(zhì)量輕、可簡(jiǎn)化儀器結(jié)構(gòu)、無(wú)移動(dòng)部件、利于面陣探測(cè)器接收等結(jié)構(gòu)特性,以及高色散、高分辨率、寬譜段、高衍射效率和瞬態(tài)光

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1025670