發(fā)布時間：2017-10-13 00:39

  本文關(guān)鍵詞：氣囊拋光路徑對光學(xué)元件中頻誤差的影響

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【摘要】：為了尋找消除中頻誤差的有效拋光路徑,進行了2組實驗.第1組實驗采用單步進動Z字光柵路徑和單步進動螺旋線路徑對石英玻璃進行全面均勻的氣囊拋光實驗,并對加工后得到試件表面的中頻誤差進行分析.第2組實驗先采用單步進動Z字光柵路徑對石英玻璃進行全面均勻的氣囊拋光實驗,接著用基于改進普里姆(Prim)算法的路徑對其進行加工,最后對加工得到光學(xué)試件表面的中頻誤差進行分析,從而驗證基于改進Prim算法的拋光路徑的優(yōu)良性.
【作者單位】： 廈門大學(xué)物理與機電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 拋光路徑 光學(xué)試件 中頻誤差
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51275433) 國家科技重大專項(2013ZX04001000-206)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 281-285.Citation:Lin Guidan,Bi Guo,Hu Chenlin,et al.The effect of polishing paths on the mid-frequency error of optical components[J].Journal of Xiamen University:Natural Science,2015,54(2):281-285.(in Chinese)精密、超精密光學(xué)元件在航空、航天、國防以及民

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本文編號：1021893