本文關(guān)鍵詞：空氣阻尼對(duì)扭臂式靜電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)pull-in電壓的影響

  更多相關(guān)文章： 扭臂式靜電驅(qū)動(dòng) 能量法 力電耦合方法 pull-in電壓 空氣阻尼

【摘要】：基于扭臂式靜電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的基本模型,在忽略和考慮空氣阻尼作用的兩種情況下,分別采用能量法和力電耦合分析方法得到扭臂式靜電驅(qū)動(dòng)器的pull-in電壓。通過對(duì)比兩種情況下的pull-in電壓,得出了驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)參數(shù)變化時(shí)空氣阻尼作用對(duì)pull-in電壓的影響。結(jié)果表明,在一定范圍內(nèi),隨著上電極長(zhǎng)度、上電極寬度的增加以及上下電極之間間距的減小,空氣阻尼作用對(duì)pull-in電壓的影響逐步增大;并且當(dāng)上電極寬度增大或者上下電極之間間距減小到一定程度時(shí),空氣阻尼作用力甚至可以與驅(qū)動(dòng)的靜電力達(dá)到同一數(shù)量級(jí),此時(shí)必須考慮空氣阻尼作用的影響。
【作者單位】： 上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院微納電子學(xué)系薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室微米納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 扭臂式靜電驅(qū)動(dòng) 能量法 力電耦合方法 pull-in電壓 空氣阻尼
【基金】：上海市科委自然基金項(xiàng)目(13ZR1420800)
【分類號(hào)】：TH703
【正文快照】： 0引言隨著MEMS技術(shù)的逐步成熟,各種靜電驅(qū)動(dòng)器得到了迅速的發(fā)展[1-3]。由于能在微器件中獲得高能量密度和較大的作用力,并易于加工和集成,靜電驅(qū)動(dòng)執(zhí)行器被廣泛應(yīng)用,如微光開關(guān)、壓控電容和射頻微開關(guān)等。pull-in現(xiàn)象廣泛存在于靜電驅(qū)動(dòng)微執(zhí)行器中,已經(jīng)引起了廣泛的重視和研究，

本文編號(hào)：1021615