發(fā)布時(shí)間：2017-10-12 09:18

  本文關(guān)鍵詞：環(huán)形共光路點(diǎn)衍射干涉儀

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【摘要】：建立了一種基于偏振掩膜板與環(huán)形共路結(jié)構(gòu)的點(diǎn)衍射干涉儀,通過(guò)旋轉(zhuǎn)偏振片可以改變參考光與測(cè)試光之間的相對(duì)光強(qiáng),實(shí)現(xiàn)干涉條紋對(duì)比度的調(diào)節(jié),能夠獲得最高對(duì)比度的干涉條紋,并且針對(duì)條紋對(duì)比度進(jìn)行了詳細(xì)的理論分析;由于系統(tǒng)中線性載頻幅度極易調(diào)節(jié),可以有效地改善傅里葉變換法的相位提取精度;驗(yàn)證性實(shí)驗(yàn)被完成。
【作者單位】： 內(nèi)蒙古工業(yè)大學(xué)機(jī)械學(xué)院;中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 點(diǎn)衍射干涉儀 光學(xué)測(cè)量 環(huán)形共路結(jié)構(gòu) 條紋對(duì)比度 傅里葉變換法
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61108038) 內(nèi)蒙古自然科學(xué)基金(2011BW0701) 教育部“春暉計(jì)劃”科研項(xiàng)目(Z2011069) 內(nèi)蒙古工業(yè)大學(xué)科研基金項(xiàng)目(X201010)資助
【分類(lèi)號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 0引言不同于泰曼格林干涉儀或斐索干涉儀等常用干涉儀,點(diǎn)衍射干涉儀(PDI)可直接利用針孔產(chǎn)生衍射光波作為標(biāo)準(zhǔn)參考波,突破了常用干涉儀中測(cè)量精度受實(shí)體標(biāo)準(zhǔn)鏡面精度的限制,從而達(dá)到更高的面形檢測(cè)精度[1]。采用共光路的PDI結(jié)構(gòu),即參考光與測(cè)試光經(jīng)過(guò)同一光路,對(duì)環(huán)境的振動(dòng)以

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1017894