本文關(guān)鍵詞：基于空間頻域算法的三維微觀形貌的測(cè)量

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【摘要】：白光干涉術(shù)測(cè)量表面形貌,解決了單色光干涉測(cè)量中的相位不確定困擾。基于掃描白光干涉術(shù)的空間頻域算法,具有受噪聲影響小、計(jì)算精度高的優(yōu)點(diǎn)。運(yùn)用這一算法通過(guò)Mirau掃描干涉顯微鏡對(duì)臺(tái)階狀樣品表面進(jìn)行了兩次白光掃描測(cè)試,得出了臺(tái)階表面形貌結(jié)果,且兩次測(cè)量的臺(tái)階高度相差不超過(guò)1 nm。同時(shí),利用Zygo Newview 7200白光形貌儀對(duì)同一樣品表面進(jìn)行了測(cè)試對(duì)比,結(jié)果表明:兩者得到的樣品表面形貌一致,臺(tái)階高度相差0.9 nm。此外,實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理的結(jié)果還表明:運(yùn)用空間頻域算法進(jìn)行分析時(shí)二階以上的色散完全可以忽略。
【作者單位】： 南京理工大學(xué)物理系;
【關(guān)鍵詞】： 白光干涉 空間頻域算法 三維形貌 干涉顯微鏡
【基金】：2012年江蘇省“百千萬(wàn)計(jì)劃”資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TH741
【正文快照】： 0引言機(jī)械制造、電子工業(yè)、二元光學(xué)、機(jī)器人視覺(jué)等領(lǐng)域的快速發(fā)展,對(duì)三維形貌的測(cè)試技術(shù)提出了越來(lái)越高的要求。因此對(duì)表面微觀形貌測(cè)試技術(shù)展開(kāi)研究,有著十分重要的意義和廣闊的應(yīng)用前景。目前對(duì)三維形貌的測(cè)量[1]可分為兩大類:接觸式和非接觸式。前者主要包括觸針式測(cè)量法[

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1 于瀛潔,孫流星;基于波長(zhǎng)移相干涉的臺(tái)階測(cè)量技術(shù)[J];測(cè)試技術(shù)學(xué)報(bào);2005年02期

2 周攀,于瀛潔;基于白光掃描輪廓儀的算法研究[J];儀器儀表學(xué)報(bào);2002年S2期

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1 王星星;基于掃描白光干涉法的二元光學(xué)器件表面誤差分析[D];南昌航空大學(xué);2011年

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本文編號(hào)：1010757