本文關(guān)鍵詞：基于ITO圖形短路檢測儀的精密運(yùn)動平臺的設(shè)計與分析

  更多相關(guān)文章： 滾珠絲杠 滾動導(dǎo)軌 精密運(yùn)動平臺 ITO圖形短路檢測儀

【摘要】：隨著現(xiàn)代制造技術(shù)的飛速發(fā)展,對精密運(yùn)動平臺的精度性能要求越來越高.通過對機(jī)架結(jié)構(gòu)和驅(qū)動方式的對比分析,以及對滾動導(dǎo)軌和滾珠絲杠的選型分析,設(shè)計出了可供使用的ITO圖形短路檢測儀精密運(yùn)動平臺.重點分析了滾動導(dǎo)軌的位移分辨率,提出了提高工作臺位移分辨率的主要措施.對比了工作臺配磨前后的精度,并將其運(yùn)用到實際的生產(chǎn)設(shè)備中,得出了精度的實驗數(shù)據(jù),證明了該運(yùn)動平臺的精度符合設(shè)計要求,驗證了該平臺的可實用性,對以后進(jìn)行大尺寸、高精度運(yùn)動平臺的研究奠定了基礎(chǔ).
【作者單位】： 中北大學(xué)機(jī)械與動力工程學(xué)院;山西省深孔加工工程技術(shù)研究中心;北京清大天達(dá)光電科技有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 滾珠絲杠 滾動導(dǎo)軌 精密運(yùn)動平臺 ITO圖形短路檢測儀
【分類號】：TH703
【正文快照】： 3.北京清大天達(dá)光電科技有限公司,北京101204)0引言在精密機(jī)械儀器設(shè)備中,精密運(yùn)動平臺系統(tǒng)是高精密零部件和高性能元器件的組合體,影響著儀器設(shè)備整體的精度和效率[1].理想的精密工作臺應(yīng)滿足以下的要求:1支承高剛性運(yùn)動副應(yīng)少機(jī)械摩擦或無摩擦、無間隙,具有較高的驅(qū)動分辨力

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 楊國哲;王立平;郁鼎文;劉向陽;;三坐標(biāo)精密運(yùn)動平臺的設(shè)計[J];機(jī)床與液壓;2006年06期

2 黃歡;郁鼎文;劉向陽;;超精密運(yùn)動平臺隔振系統(tǒng)性能分析與實驗研究[J];科學(xué)技術(shù)與工程;2006年01期

3 蔡莊奇;王云懋;貝天寶;吳小蘭;;直線電機(jī)直接驅(qū)動技術(shù)在精密加工中的應(yīng)用[J];機(jī)械工程與自動化;2008年06期

4 林海波;楊國哲;;超精密運(yùn)動平臺主動隔振系統(tǒng)動力學(xué)模型理論與實驗研究[J];組合機(jī)床與自動化加工技術(shù);2012年02期

5 徐登峰;趙冶;;超精密運(yùn)動平臺高動態(tài)性能運(yùn)動部件的研究[J];制造技術(shù)與機(jī)床;2009年07期

6 張勇;精密測量導(dǎo)軌的運(yùn)動特性分析[J];組合機(jī)床與自動化加工技術(shù);2005年09期

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 葛曉宇;肖勇;孫靜娜;潘佩琦;;ACS控制器在超精密定位系統(tǒng)中的應(yīng)用[J];信息系統(tǒng)工程;2011年11期

2 王雷;張聰;;基于小波分析的納米運(yùn)動平臺振動研究[J];浙江國際海運(yùn)職業(yè)技術(shù)學(xué)院學(xué)報;2010年01期

3 廖劍;錢煒;胡蒲希;;面向直線電機(jī)驅(qū)動數(shù)控銑削加工智能控制系統(tǒng)[J];微計算機(jī)信息;2012年08期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 王亞濤;包淼;范明星;;光學(xué)設(shè)備隔振平臺的隔振性能研究[A];現(xiàn)代振動與噪聲技術(shù)（第九卷）[C];2011年

2 韓e，

本文編號：1010248