本文關(guān)鍵詞：基于ITO圖形短路檢測(cè)儀的精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的設(shè)計(jì)與分析

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【摘要】：隨著現(xiàn)代制造技術(shù)的飛速發(fā)展,對(duì)精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的精度性能要求越來(lái)越高.通過(guò)對(duì)機(jī)架結(jié)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)方式的對(duì)比分析,以及對(duì)滾動(dòng)導(dǎo)軌和滾珠絲杠的選型分析,設(shè)計(jì)出了可供使用的ITO圖形短路檢測(cè)儀精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái).重點(diǎn)分析了滾動(dòng)導(dǎo)軌的位移分辨率,提出了提高工作臺(tái)位移分辨率的主要措施.對(duì)比了工作臺(tái)配磨前后的精度,并將其運(yùn)用到實(shí)際的生產(chǎn)設(shè)備中,得出了精度的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),證明了該運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的精度符合設(shè)計(jì)要求,驗(yàn)證了該平臺(tái)的可實(shí)用性,對(duì)以后進(jìn)行大尺寸、高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的研究奠定了基礎(chǔ).
【作者單位】： 中北大學(xué)機(jī)械與動(dòng)力工程學(xué)院;山西省深孔加工工程技術(shù)研究中心;北京清大天達(dá)光電科技有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 滾珠絲杠 滾動(dòng)導(dǎo)軌 精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái) ITO圖形短路檢測(cè)儀
【分類號(hào)】：TH703
【正文快照】： 3.北京清大天達(dá)光電科技有限公司,北京101204)0引言在精密機(jī)械儀器設(shè)備中,精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)系統(tǒng)是高精密零部件和高性能元器件的組合體,影響著儀器設(shè)備整體的精度和效率[1].理想的精密工作臺(tái)應(yīng)滿足以下的要求:1支承高剛性運(yùn)動(dòng)副應(yīng)少機(jī)械摩擦或無(wú)摩擦、無(wú)間隙,具有較高的驅(qū)動(dòng)分辨力

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2 韓e，

本文編號(hào)：1010248