本文關(guān)鍵詞：基于NOA73微球與SU-8微柱的微探針制作（英文）

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【摘要】：集成紫外固化膠NOA73微球與SU-8微柱制造的亞毫米探針,可以作為關(guān)鍵部件應(yīng)用于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。NOA73微球通過(guò)NOA73對(duì)其他溶液的界面張力形成,柱子由深紫外光穿過(guò)微球曝光SU-8形成。這種新技術(shù)利用甘油補(bǔ)償NOA73與空氣折射率差,使得紫外光透過(guò)NOA73微球后保持接近平行。最終得到高深寬比的探針結(jié)構(gòu),高度超過(guò)1 200μm,微柱側(cè)壁與基底呈89°。
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 探針 坐標(biāo)測(cè)量機(jī) 折射率補(bǔ)償 微機(jī)電系統(tǒng)
【基金】：surpported by National Science Foundation of China(61401405,51475438) Basic Research Priorities Program of Shanxi(2014011021-4) Program for New Century Excellent Talents in University(130951862)
【分類(lèi)號(hào)】：TH721
【正文快照】： PACS:07.10.Cm;13.66.JnWith increasingly miniaturizing and integrating development of precision machinery,bio-engineering,chemical industry,photovoltaic systems and some other fields,a huge number of novel micro-nano structuresare emerging.The manufacturi

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 楊怡;李澤甫;方瑜;羅炫;張林;;PDMS微/毫流控芯片的簡(jiǎn)易快速制備及其疏水性研究[J];納米技術(shù)與精密工程;2014年01期

2 尚茂林;吳景梅;郭春燕;;聚乳酸載藥微球的制備及修飾研究進(jìn)展[J];中國(guó)藥師;2013年08期

3 楊睿戇;徐嘉靖;高聰;馬霜;陳素芬;羅炫;方瑜;李波;;聚α-甲基苯乙烯薄膜多孔結(jié)構(gòu)影響因素研究[J];原子能科學(xué)技術(shù);2015年01期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 任玉敏;微流控芯片技術(shù)在電泳及微球制備中的研究和應(yīng)用[D];青島大學(xué);2013年

2 李澤甫;微流控法制備大直徑DVB泡沫微球[D];西南科技大學(xué);2014年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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1 韓喻;謝凱;;三維光子晶體及其制備技術(shù)研究進(jìn)展[J];材料導(dǎo)報(bào);2007年05期

2 趙麗,余家國(guó),程蓓,趙修建;三維光子晶體的化學(xué)方法制備與應(yīng)用[J];稀有金屬材料與工程;2004年04期

3 駱?shù)h,阮建明,萬(wàn)千;微乳液法制備納米二氧化硅粉末工藝的研究[J];硅酸鹽通報(bào);2004年05期

4 李s，

本文編號(hào)：1009147