傳統(tǒng)光柵的基礎(chǔ)研究和應(yīng)用研究進(jìn)展一直備受關(guān)注。然而,高階衍射污染使傳統(tǒng)光柵獲得的光譜純度受到嚴(yán)重影響。為了抑制高階衍射貢獻(xiàn),人們提出了許多單級(jí)或準(zhǔn)單級(jí)光柵的設(shè)計(jì)方案,但它們對(duì)高階衍射的抑制效果不可避免地受到加工精度的限制。提出了一種準(zhǔn)周期矩形孔陣列光柵,通過優(yōu)化矩形孔的概率密度分布函數(shù),獲得了比以往設(shè)計(jì)更大的加工誤差寬容度。對(duì)這種光柵的衍射特性進(jìn)行了分析研究。理論計(jì)算表明,即使孔徑相對(duì)誤差超過20%,光柵也可以完全抑制二階、三階和四階衍射,五階衍射效率與一階衍射效率之比小于0.01%,大大降低了對(duì)加工精度的要求。

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