運(yùn)用等效層理論,設(shè)計(jì)了一種目標(biāo)波長(zhǎng)分別為780,810,850 nm,在45°入射角下使用的反射鏡,該反射鏡在保證膜層高反射率的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了對(duì)偏振和相位的調(diào)控。為了在較寬波段上滿足平均反射率高的要求,選用金屬銀和Ta₂O₅、SiO₂作為光學(xué)薄膜的材料。采用電子束蒸發(fā)和熱蒸發(fā)方式并配合石英晶體振蕩監(jiān)控膜厚等工藝,在JGS-1石英基底上獲得了500～1600 nm波段范圍內(nèi)平均反射率大于95%,目標(biāo)波長(zhǎng)下消光比分別優(yōu)于3000∶1、5000∶1和7000∶1的反射鏡膜系。所設(shè)計(jì)的反射鏡可以滿足空間環(huán)境下量子通信應(yīng)用的可靠性要求。

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【文章目錄】：
1 引 言
2 反射鏡膜系設(shè)計(jì)
    2.1 反射膜設(shè)計(jì)
    2.2 偏振與相位調(diào)控膜設(shè)計(jì)
3 反射鏡膜系的制備與測(cè)試
    3.1 制備工藝
    3.2 性能及可靠性測(cè)試
    3.3 測(cè)試結(jié)果分析
4 結(jié) 論



本文編號(hào)：3804993