本文選題：位移測量 + 正交偏振��； 參考：《激光與紅外》2017年08期

【摘要】：提出一種基于偏振混疊的氦氖激光器納米測尺系統(tǒng),將雙折射元件插入He-Ne激光器諧振腔內(nèi)產(chǎn)生頻率分裂,使激光器變成了頻差可調(diào)的雙頻激光器。運用頻率分裂、模競爭、雙縱模功率調(diào)諧等激光物理效應(yīng),使用偏振混疊方法和設(shè)定浮動閾值,研制了新型的激光器納米測尺。以激光波長為尺子,具有可溯源性,在沒有任何電細分的條件下達到了納米量級的分辨率,與激光干涉儀的比對實驗表明,該系統(tǒng)的分辨率為79nm,量程為20 mm,線性度為5.8×10~(-5),標(biāo)準(zhǔn)差為520nm。
[Abstract]:A novel He-Ne laser nanometer system based on polarization aliasing is proposed. The birefringent element is inserted into the resonator of He-Ne laser to produce frequency splitting, which makes the laser become a dual-frequency laser with adjustable frequency difference. Using laser physical effects such as frequency splitting, mode competition and dual longitudinal mode power tuning, a new type of laser nanometer is developed by using polarization aliasing method and setting floating threshold. With the laser wavelength as the ruler, it has traceability and achieves nanometer resolution without any electrical subdivision. The comparison experiment with the laser interferometer shows that, The system has a resolution of 79 nm, a range of 20 mm, a linearity of 5.8 脳 10 ~ (-5) and a standard deviation of 520 nm.
【作者單位】： 南通大學(xué)機械工程學(xué)院;北京航空航天大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(No.61475082) 國家重大儀器專項(No.2011YQ04013603) 北京市科委項目(No.Z151100002415027)資助
【分類號】：TN248

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本文編號：2070051