本文選題：傅里葉變換 + 大視場　； 參考：《光學精密工程》2017年07期

【摘要】：為了實現(xiàn)大視場周期性微結(jié)構(gòu)缺陷檢測,提出了一種基于光學傅里葉變換(FT)的大視場周期性微結(jié)構(gòu)缺陷檢測方法,并搭建相關(guān)實驗系統(tǒng)進行實驗驗證。首先,對周期性微結(jié)構(gòu)的像進行二維快速傅里葉變換,獲取周期性微結(jié)構(gòu)的空間頻譜;然后,選取一級衍射斑點中的一個斑點做快速傅里葉逆變換,得到周期性微結(jié)構(gòu)的幅值分布圖;最后,根據(jù)幅值分布圖中的幅值突變位置確定缺陷的位置以及根據(jù)幅值突變的劇烈程度來定性地判斷缺陷處的點偏離原來位置的位移。實驗結(jié)果表明:該套系統(tǒng)的測量視場能達到1.5mm×1.5mm,測量分辨率能達到0.5μm以上,在保證分辨率達到要求的前提下,大大地提高了檢測視場,能夠快速、高效、便捷地在大視場下對周期性微結(jié)構(gòu)進行缺陷檢測。
[Abstract]:In order to detect periodic microstructural defects in large field of view, a novel method based on optical Fourier transform (FTFT) is proposed to detect periodic microstructural defects in large field of view. Firstly, two-dimensional fast Fourier transform (FFT) is used to obtain the spatial spectrum of periodic microstructures, and then one of the first order diffraction spots is selected for inverse FFT. The amplitude distribution map of periodic microstructures is obtained. Finally, the location of defects is determined according to the abrupt position of amplitude in the amplitude distribution map and the displacement of the point deviating from the original position is judged qualitatively according to the intensity of amplitude mutation. The experimental results show that the measuring field of view of the system can reach 1.5mm 脳 1.5mm and the resolution of measurement can reach more than 0.5 渭 m. On the premise of ensuring the resolution to meet the requirements, the system can greatly improve the detection field of view, and can be fast and efficient. It is convenient to detect periodic microstructures in large field of view.
【作者單位】： 北京信息科技大學光電測試技術(shù)北京市重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(No.61605011) 教育部創(chuàng)新團隊項目
【分類號】：O438.2

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本文編號：1852196