本文選題：激光制造 + 激光加工��； 參考：《中國激光》2017年01期

【摘要】：使用摻鐿光子晶體光纖飛秒激光放大系統(tǒng)作為加工光源,利用激光誘導(dǎo)前向轉(zhuǎn)移(LIFT)技術(shù)對銅膜進行加工,產(chǎn)生納米結(jié)構(gòu)。通過控制飛秒激光光源參數(shù),得到不同納米結(jié)構(gòu)的金屬薄膜。在功率較低時,能夠得到納米團簇;隨著功率升高,團簇尺寸變大;到達一定功率時,出現(xiàn)納米線結(jié)構(gòu)。通過實驗分析了飛秒激光與材料相互作用時發(fā)生的物理過程。利用該機理,對20,40,200nm三種厚度的銅膜在相同實驗條件下的實驗結(jié)果進行比較,獲得了產(chǎn)生納米團簇和納米線結(jié)構(gòu)薄膜的最佳條件。
[Abstract]:Using the femtosecond laser amplification system of ytterbium-doped photonic crystal fiber as the processing light source, the copper film was fabricated by laser induced forward transfer (LIFT) technique to produce nanostructures. By controlling the parameters of femtosecond laser source, metal thin films with different nanostructures were obtained. When the power is low, the nanoclusters can be obtained; with the increase of power, the cluster size becomes larger; when the power reaches a certain power, the nanowire structure appears. The physical process of femtosecond laser interacting with materials is analyzed experimentally. By using this mechanism, the experimental results of three kinds of copper films with 20 ~ 40200 nm thickness under the same experimental conditions were compared, and the optimum conditions for producing nanoclusters and nanowire films were obtained.
【作者單位】： 天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院超快激光研究室光電信息技術(shù)科學(xué)教育部重點實驗室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61322502,61535009,11274239) 教育部長江學(xué)者創(chuàng)新團隊計劃(IRT13033)
【分類號】：TN249;TB383.1

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本文編號：1828153