本文關鍵詞：深紫外激光光發(fā)射與熱發(fā)射電子顯微鏡在熱擴散陰極研究中的應用

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【摘要】：對熱擴散陰極表面微區(qū)發(fā)射狀態(tài)進行原位觀察和分析一直是熱陰極研究的重要課題.本文著重介紹深紫外激光光發(fā)射電子/熱發(fā)射電子顯微鏡的基本原理及其在熱擴散陰極研究中的典型實例.系統(tǒng)配備了高溫激活所用的加熱裝置,樣品可被加熱至1400℃.系統(tǒng)具有光發(fā)射電子、陰極熱發(fā)射電子、光發(fā)射電子和陰極熱發(fā)射電子聯(lián)合三種電子成像模式.應用表明,對于熱擴散陰極而言,深紫外激光光發(fā)射電子像適于呈現(xiàn)陰極表面的微觀結(jié)構形貌;熱發(fā)射電子像適于反映陰極表面的本征熱電子發(fā)射及均勻性;光電子和熱電子聯(lián)合成像適于對陰極表面的有效發(fā)射點做出精確定位.
【作者單位】： 中國科學院電子學研究所 高功率微波源與技術實驗室;中國科學院大學;中國科學院理化技術研究所 功能晶體與激光技術重點實驗室;北京中科科儀股份有限公司;
【基金】：國家科技重大專項(批準號:2012YQ120048)資助的課題~~
【分類號】：O462
【正文快照】： 精密電子光學系統(tǒng)設計和先進的制造技術,其空間1引言分辨率不夠,只能得到幾十到幾百倍的表面熱電子發(fā)射圖像,因此同樣無法獲得發(fā)射點或發(fā)射微區(qū)在熱擴散陰極是目前電真空器件領域應用最廣陰極表面的精確位置和微觀發(fā)射特征.泛的一類陰極[1,2].針對熱擴散陰極表面的研究是為了

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1 楊s，

本文編號：1270768