<正>納米精度的位移測量對于微納加工、精密控制、半導體器件等領域都具有重要的意義。光學測距具有精度高、非接觸的優(yōu)點,一直是光學計量領域的重要研究方向。常見的光學測距一般利用光學干涉進行縱向距離的測量,橫向高精度納米位移測量仍然是一個亟待研究的問題。在這個報告中,首先介紹了基于納米結構散射的橫向高精度位移測量的研究狀況,然后著重介紹

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