摩擦工藝ESD(Electrostatic Discharge)是TFT-LCD制程中較為常見的一種不良,以317.5mm(12.5 in)產(chǎn)品為例,摩擦工藝過程中ESD發(fā)生率20%,對產(chǎn)品良率影響較大。文章結(jié)合實際生產(chǎn)對摩擦工藝ESD的原因進行理論分析與實驗驗證,得出摩擦工藝發(fā)生ESD的原因為TFT基板上面有懸空的大塊金屬,在摩擦過程中電荷積累過多容易發(fā)生ESD,ESD進一步燒毀旁邊金屬電路導致面板點亮時畫面異常。生產(chǎn)過程中通過工藝管控和產(chǎn)品設(shè)計兩方面優(yōu)化改善,工藝方面通過增加濕度,涂布防靜電液以及管控摩擦布壽命進行改善,設(shè)計方面通過變更懸空的大塊金屬為小塊金屬,通過工藝設(shè)計優(yōu)化最終生產(chǎn)過程中摩擦工藝ESD發(fā)生率由20%下降到0%,大大提高了產(chǎn)品品質(zhì),降低了生產(chǎn)成本。

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 ESD現(xiàn)象與特點
    2.1 ESD器件燒毀現(xiàn)象
3 ESD原理
4 實驗設(shè)計
    4.1 工藝影響
        4.1.1 摩擦設(shè)備濕度對ESD的影響
        4.1.2 設(shè)備機臺涂布防靜電液對ESD的影響
        4.1.3 摩擦布壽命對ESD影響
    4.2 設(shè)計影響
5 結(jié)果與討論
    5.1 工藝方面
        5.1.1 摩擦設(shè)備濕度對ESD影響結(jié)果
        5.1.2 設(shè)備機臺涂布防靜電液對ESD的影響
        5.1.3 不同摩擦布壽命對ESD影響
    5.2 設(shè)計方面
        5.2.1 玻璃基板懸空的大塊金屬對ESD影響
6 結(jié)論



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