【摘要】：隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步以及工業(yè)工程的發(fā)展，微定位技術(shù)已成為科研人員從宏觀領(lǐng)域向微觀領(lǐng)域擴(kuò)展研究的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。壓電陶瓷材料憑借位移分辨力高、不產(chǎn)熱、不易受電磁干擾等優(yōu)點(diǎn)，已成為微定位系統(tǒng)中理想的驅(qū)動(dòng)元件。 本論文針對(duì)數(shù)字散斑干涉測(cè)量中相移技術(shù)需要的壓電陶瓷微位移器驅(qū)動(dòng)電源進(jìn)行了設(shè)計(jì)和研究工作： 首先，在對(duì)壓電陶瓷微位移器驅(qū)動(dòng)電源控制方式及其優(yōu)缺點(diǎn)和研究現(xiàn)狀進(jìn)行分析和研究的基礎(chǔ)之上，提出采用電壓控制型直流放大式結(jié)構(gòu)作為驅(qū)動(dòng)電源的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)；同時(shí)，論文提出了能夠?qū)崿F(xiàn)直流電壓輸出和交流正弦波、三角波幅值及頻率均可調(diào)的控制策略的設(shè)計(jì)目標(biāo)，完成驅(qū)動(dòng)電源的整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方案，包括硬件電路和軟件設(shè)計(jì)。 其次，對(duì)驅(qū)動(dòng)電源硬件和軟件設(shè)計(jì)進(jìn)行分析。硬件電路主要由微處理器及其外圍工作模塊、波形產(chǎn)生模塊、D/A轉(zhuǎn)換模塊、穩(wěn)壓電源模塊、線性放大模塊、人機(jī)交互模塊組成。硬件電路中主控芯片收到上位機(jī)指令后控制D/A轉(zhuǎn)換模塊得到0.3V~4.7V的模擬電壓輸出，線性放大后，得到-110V~110V的壓電陶瓷直流驅(qū)動(dòng)電壓；控制波形產(chǎn)生模塊實(shí)現(xiàn)幅值及頻率可調(diào)的正弦波、三角波電壓輸出，同時(shí)微處理器讀取電壓采集模塊的實(shí)際電壓并與理想輸出電壓比較，以提高輸出電壓精度和穩(wěn)定性；另外，微處理器也可通過(guò)人機(jī)交互模塊實(shí)現(xiàn)上述操作。完成驅(qū)動(dòng)電源相應(yīng)模塊軟件設(shè)計(jì)，包括上位機(jī)界面、微處理器初始化、虛擬USB通信響應(yīng)程序、D/A控制程序、波形產(chǎn)生控制程序、電壓信號(hào)采集程序、人機(jī)交互程序等。 最后，制作完成驅(qū)動(dòng)電源并為其搭建性能測(cè)試實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，對(duì)電源的靜態(tài)特性包括線性度、穩(wěn)定性及重復(fù)性進(jìn)行相關(guān)測(cè)試，并對(duì)電源紋波、頻率響應(yīng)特性等參數(shù)進(jìn)行相關(guān)實(shí)驗(yàn)。 測(cè)試結(jié)果表明，驅(qū)動(dòng)電源運(yùn)行穩(wěn)定，，基本達(dá)到預(yù)期目標(biāo)。
【圖文】：

影響到參考光的相位，產(chǎn)生相移，最終實(shí)現(xiàn)就是為數(shù)字散斑干涉測(cè)量系統(tǒng)提供電壓穩(wěn)定善散斑干涉測(cè)量的條紋質(zhì)量，提高測(cè)量的精提供基礎(chǔ)。器的應(yīng)用移器作為微定位系統(tǒng)的重要組成部分，目前的應(yīng)用:精度打印機(jī)打印技術(shù)是一種新興的打印技術(shù)方式，因?qū)Χ却蛴�，獲得良好的打印效果而被廣泛的應(yīng)件是壓電陶瓷微位移器，當(dāng)對(duì)壓電陶瓷微位彈壓；當(dāng)電壓中斷時(shí)，壓電陶瓷微位移器又微量的墨水通過(guò)噴嘴噴射出去，這樣墨滴大從而使墨水的控制精度得到保證。圖 1.2 為愛(ài)意圖。

第一章 緒論來(lái)研究物質(zhì)的表面構(gòu)成形式及性質(zhì)，實(shí)現(xiàn)在顯微與掃描隧道顯微鏡相比，前者除具有與者不能測(cè)量的物質(zhì)，如絕緣材料等物質(zhì)，原下的最佳三維測(cè)量工具。而在原子力顯微鏡被用作原子力顯微鏡的 Z 方向高速反饋定位 原子力顯微鏡頭部結(jié)構(gòu)示意圖。
【學(xué)位授予單位】：合肥工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2014
【分類號(hào)】：TN86

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2540770