【摘要】：介紹了一種新型多晶硅還原爐加熱電源的工作原理、系統(tǒng)構成和實驗結果。該型加熱電源采用相控整流和高頻逆變技術。根據(jù)多晶硅硅棒在生長過程中的伏安特性,設計了與工頻加熱電源交互的控制邏輯以及逆變電流控制方法。通過實驗驗證了硅棒中交變電流的趨膚效應在多晶硅硅棒加熱過程中的作用,并對比了工頻加熱電流與高頻加熱電流的幅值差異。實驗表明,該型多晶硅還原爐高頻加熱電源在節(jié)電率、單爐生產(chǎn)時間和產(chǎn)出硅棒直徑上,均比傳統(tǒng)的工頻加熱電源有較大提升。
[Abstract]:This paper introduces the working principle, system structure and experimental results of a new type of heating power supply for polysilicon reducer. This type of heating power supply adopts phase-controlled rectifier and high-frequency inverter technology. According to the volt-ampere characteristics of the polysilicon silicon rod during the growth process, the control logic and the inverter current control method are designed for the interaction with the power frequency heating power supply. The effect of the skin effect of alternating current on the heating process of polycrystalline silicon rod is verified by experiments, and the amplitude difference between the power frequency heating current and the high frequency heating current is compared. The experimental results show that the high frequency heating power supply of this type of polycrystalline silicon reduction furnace is much higher than that of the traditional power frequency heating power supply in terms of power saving rate, production time of single furnace and the diameter of the produced silicon rod.
【作者單位】： 西安醫(yī)學院;中國空間技術研究院西安分院;
【分類號】：TN86

【參考文獻】

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【二級參考文獻】

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本文編號：2144293