本文選題：MEMS陀螺 + FIB刻蝕　； 參考：《中國慣性技術學報》2014年05期

【摘要】：受微加工工藝條件限制,MEMS傳感器的結(jié)構(gòu)尺寸等參數(shù)總是偏離設計值,使其性能水平難以滿足高精度應用的要求。為了抑制一種MEMS陀螺敏感結(jié)構(gòu)的加工誤差,分析了其主要運動模態(tài)的特性以及耦合誤差的主要來源,提出了通過FIB刻蝕手段對陀螺十字型梁結(jié)構(gòu)進行修調(diào)的方法,并對修調(diào)前后陀螺的耦合誤差以及誤差的溫度穩(wěn)定性進行了分析比較。對陀螺性能的測試結(jié)果表明,兩種FIB刻蝕方式分別使陀螺零偏誤差比修調(diào)前降低約35%和72%,而誤差的溫度穩(wěn)定性則分別提高了80%和55%,證明修調(diào)方法能夠抑制陀螺誤差、提升陀螺的性能。
[Abstract]:The structure and size of MEMS sensors are always deviated from the design value, which makes the performance level difficult to meet the requirements of high precision applications. In order to restrain the machining error of a MEMS gyroscope sensitive structure, the characteristics of its main motional modes and the main source of coupling error are analyzed, and a method to modify the gyro cross beam structure by FIB etching is proposed. The coupling error and temperature stability of gyroscope before and after modification are analyzed and compared. The test results of gyroscope performance show that the zero bias error of gyroscope is reduced by 35% and 72%, respectively, and the temperature stability of the error is increased by 80% and 55%, respectively. It is proved that the correction method can suppress the gyro error. Improve the performance of gyroscope.
【作者單位】： 清華大學精密儀器系;中國兵器工業(yè)導航與控制技術研究所;
【基金】：總裝備部慣性預研項目(51309010301)
【分類號】：TN966

【參考文獻】

相關期刊論文 前1條

1 趙克;馮立輝;王茜劏;劉明智;王本國;崔芳;孫雨南;;Suppressing the mechanical quadrature error of a quartz double-H gyroscope through laser trimming[J];Chinese Physics B;2013年11期

【共引文獻】

相關期刊論文 前4條

1 張霞;;振動式微機械陀螺儀的研究現(xiàn)狀與展望[J];固體電子學研究與進展;2013年05期

2 孫香政;王剛;郭志想;陸志東;;耦合結(jié)構(gòu)對音叉式陀螺振動特性的影響[J];傳感技術學報;2013年12期

3 郝燕玲;劉博;周廣濤;;高敏感度微機械陀螺陣列的設計[J];華中科技大學學報(自然科學版);2014年03期

4 郝燕玲;劉博;史宏洋;;新型反相位驅(qū)動雙解耦微機械陀螺設計[J];哈爾濱工業(yè)大學學報;2014年09期

相關博士學位論文 前2條

1 胡世昌;可調(diào)諧柵結(jié)構(gòu)微機械陀螺的研究[D];浙江大學;2013年

2 侯占強;蝶翼式微陀螺零偏穩(wěn)定性提升關鍵技術研究[D];國防科學技術大學;2012年

【相似文獻】

相關期刊論文 前4條

1 賈志宏;王雪麗;邢遠;劉瑩瑩;劉慶;;基于FIB的三維表征分析技術及應用進展[J];中國材料進展;2013年12期

2 ;初次流片芯片的FIB編輯[J];半導體技術;2005年10期

3 張立平;廖夢虎;;高性能路由器FIB壓縮方法[J];深圳職業(yè)技術學院學報;2014年03期

4 陳文龍;徐明偉;楊揚;韓冬;;可擴展路由器FIB表分解存儲模型[J];計算機學報;2011年09期

相關會議論文 前2條

1 李澤庚;王傳博;彭波;童佳兵;楊程;季紅燕;;芪白平肺膠囊對慢阻肺痰瘀阻肺證模型大鼠NO、ET-1、FIB的影響[A];全國中醫(yī)內(nèi)科肺系病第十四次學術研討會論文集[C];2010年

2 任雪艷;孟盡海;;丙泊酚對創(chuàng)傷家兔FIB、D-D和PAgT的影響[A];2009年西部麻醉學術論壇論文匯編[C];2009年

相關碩士學位論文 前4條

1 路青玲;亞臨床甲狀腺功能減退癥對MPV及FIB的影響與冠心病嚴重程度的相關性研究[D];寧夏醫(yī)科大學;2013年

2 董廣敬;喉癌及其各中醫(yī)證型與FIB的關系的研究[D];廣州中醫(yī)藥大學;2013年

3 董興龍;TIA患者頸動脈粥樣硬化斑塊、血液TG、Tch、FIB檢測及意義[D];青島大學;2005年

4 高婷婷;基于FIB制備表面增強拉曼散射基底的研究[D];天津大學;2012年

，

本文編號：1810446