本文選題：有機器件 + 發(fā)光層�。� 參考：《華中科技大學》2014年碩士論文

【摘要】：有機電致發(fā)光顯示技術(shù)是一種極具發(fā)展前景的顯示技術(shù)，具有寬視角、高分辨率、可實現(xiàn)柔性顯示等特征。目前，大尺寸有機電致發(fā)光顯示器的制造存在兩大挑戰(zhàn)：其一是有機層精密圖形化的問題，其二是大面積顯示器生產(chǎn)過程中的成品率問題。由此，本文提出了一種印章式有機氣相噴印成膜技術(shù)和裝備。該技術(shù)以惰性氣體為載氣攜帶高溫有機蒸汽經(jīng)由圖形化噴嘴噴射并在基板上冷卻沉積成型。一次噴印即可完成整個有機層圖形化的制作。 首先，基于流體力學、空氣動力學、分子動力學和傳熱學等理論，按照噴印發(fā)生的整個過程，分別建立了惰性載氣夾帶有機氣體過程、混合氣體在管道內(nèi)的輸送過程、混合氣體經(jīng)圖形化噴嘴噴出形成射流過程和有機材料在基板沉積過程的數(shù)學模型。并在理論上預(yù)測了各個控制參數(shù)對沉積形貌的影響。 其次，以理論分析為基礎(chǔ)，搭建起了整個有機氣相噴印系統(tǒng)。該系統(tǒng)由溫度控制模塊、基板冷卻控制模塊、氣體壓力和環(huán)境氛圍控制模塊、三維旋轉(zhuǎn)運動平臺模塊、圖像采集與間隙檢測模塊以及軟件控制模塊組成。并使用硅微加工工藝制作了圖形化硅噴嘴。 然后，利用該有機氣相噴印系統(tǒng)以AL為有機原料，使用單孔硅噴嘴實驗研究了有機噴印沉積的工作原理和具體過程。分析了噴嘴直徑、蒸發(fā)腔溫度、基板溫度、載氣驅(qū)動壓力、基板與噴嘴間距、電磁閥開啟時間和基板掃描速度等控制參數(shù)對噴印圖形尺寸的影響。 最后，分別使用單孔噴嘴逐點噴射和逐線掃描的方式以及方孔噴嘴和陣列噴嘴一次噴印成型的方式制作了形狀較好，位置精度較高的點陣、等距線條等簡單有機圖形。
[Abstract]:Organic electroluminescent display (OLED) is a promising display technology with wide angle of view, high resolution and flexible display. At present, there are two major challenges in the manufacture of large scale organic electroluminescent displays: one is the precision graphics of organic layer, the other is the yield of large area displays. Therefore, a seal-type organic vapor-phase spray film forming technology and equipment is proposed in this paper. The technology uses inert gas as carrier gas to carry high temperature organic vapor via graphical nozzle jet and cooling deposition on substrate. One spray printing can complete the entire organic layer graphical production. Firstly, based on the theories of hydrodynamics, aerodynamics, molecular dynamics and heat transfer, according to the whole process of jet printing, the process of entrainment of organic gas with inert carrier gas and the transportation process of mixed gas in pipeline are established respectively. A mathematical model of jet process and organic material deposition on substrate was developed by the injection of mixed gases through graphical nozzles. The influence of various control parameters on the deposition morphology is predicted theoretically. Secondly, based on the theoretical analysis, the whole organic vapor jet printing system is built. The system consists of temperature control module, substrate cooling control module, gas pressure and ambient atmosphere control module, three-dimensional rotation motion platform module, image acquisition and clearance detection module and software control module. The graphical silicon nozzle is fabricated by silicon micromachining technology. Then, the working principle and concrete process of organic spray deposition were studied by using single hole silicon nozzle with AL as organic raw material in the organic vapor spray printing system. The effects of nozzle diameter, evaporation chamber temperature, substrate temperature, carrier gas driving pressure, the distance between substrate and nozzle, the opening time of solenoid valve and the scanning speed of substrate on the size of printing pattern were analyzed. Finally, the single hole nozzle point by point injection and line by line scanning mode and the square hole nozzle and array nozzle single jet molding method were used to make the simple organic graphics such as good shape, high position precision, equidistant lines and other simple organic graphics.
【學位授予單位】：華中科技大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2014
【分類號】：TN873

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本文編號：1808696