本文關(guān)鍵詞：基于Color Filter的Rework流程優(yōu)化研究　出處：《上海交通大學(xué)》2014年碩士論文　論文類型：學(xué)位論文

  更多相關(guān)文章： 彩色濾光片 返工 蝕刻 剝離 液晶生產(chǎn)線

【摘要】：薄膜晶體管液晶顯示器,是以液晶作為介質(zhì),以薄膜晶體管和彩色過濾片為控制元器件的集大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路技術(shù)和平板光源技術(shù)于一體的光電子產(chǎn)品。由彩色濾光片Color Filter、TFT面板、偏光板、模組部分組成,其中Color Filter是TFT_LCD的重要組成部分,也是其性能參數(shù)的重要決定因數(shù)。Rework生產(chǎn)線是彩色過濾片CF各段制程產(chǎn)生的不良基板回收處理中心。SVA_FF 5G新生產(chǎn)線建成后,在取樣階段,由于市場需求變化,致使新產(chǎn)品功能變化。為滿足工藝要求,蝕刻藥液成分需要更換,從鹽酸換成硝酸。迫使Rework不得不改造,即在原有基礎(chǔ)上提高蝕刻、剝離能力、清洗能力。在面臨工期短,藥液成分不確定,改造任務(wù)大,并且在不能影響現(xiàn)有生產(chǎn)能力的條件下。論文總結(jié)了Rework流程再造中關(guān)鍵環(huán)節(jié)、采用方法與采用技術(shù),首先從改造前后藥液成分的變化著手,分析Etch及Strip藥液種類和使用溫度的變化對設(shè)備提出的更高要求。然后再由各單元對接觸藥液部分影響形成設(shè)備材質(zhì)和部件的更換清單。由此分別對Etch、Strip、Clean模塊進(jìn)行針對性部件變更。再在現(xiàn)場大量流片觀測改造后玻璃基板良品率,優(yōu)化改造前后工藝參數(shù)的變化。最后則是對現(xiàn)場與控制室的通訊配置作了簡要說明。項目改造實施后,由客戶的“投訴”,引出動態(tài)項目管理。通過客戶反饋對Rework玻璃基板管理,藥液管理,環(huán)境管理,設(shè)備管理上的改進(jìn)。新的Rework生產(chǎn)線改造,大大降低了單片玻璃基板藥液單耗量,并使Rework良品率從50%上升到85%以上。為客戶節(jié)約了大量生產(chǎn)成本,提高了其新產(chǎn)品的市場競爭力。本項目實施方法,為同行的設(shè)備改造提供了寶貴經(jīng)驗,也為高精端設(shè)備引進(jìn)中國的更好增值服務(wù)話題的展開提供了基礎(chǔ)。
[Abstract]:Thin film transistor liquid crystal display is liquid crystal as the medium. Optoelectronic products with thin film transistors and color filters as control components are integrated with large scale semiconductor integrated circuit technology and flat panel light source technology. Color filter Color Filter. TFT panel, polarizing board, module component, where Color Filter is an important part of TFT_LCD. It is also an important determinant factor of its performance parameters. Rework production line is a new production line of color filter CF produced by bad substrate recovery. SVAFAFF 5G. In the sampling stage, due to the change of market demand, the function of the new product changes. In order to meet the requirements of the process, the composition of the etch solution needs to be replaced, from hydrochloric acid to nitric acid, forcing Rework to have to be modified. That is, on the basis of the original to improve etching, stripping ability, cleaning ability. In the face of a short time limit, composition of the solution is uncertain, the transformation task is large. And under the condition that the existing production capacity can not be affected, the paper summarizes the key links in Rework process reengineering, the adoption of methods and technologies, first of all, from the change of the composition of the pharmaceutical solution before and after the transformation. This paper analyzes the higher requirements of the Etch and Strip liquid types and the change of the use temperature for the equipment. Then, each unit influences the contact liquid part to form the replacement list of the equipment material and parts. Yes, Etch. The StripCleaner module changes the specific parts. Then the improvement rate of glass substrates is observed in a large number of flow sheets in the field. The change of process parameters before and after optimization. Finally, the communication configuration between the site and the control room is briefly explained. After the project transformation is carried out, the customer complains. Introduction of dynamic project management. Through customer feedback on Rework glass substrate management, drug management, environmental management, equipment management improvements. New Rework production line transformation. It greatly reduces the consumption of single glass substrate, and increases the rate of Rework quality from 50% to 85%. It saves a large amount of production cost for customers. The implementation method of this project provides valuable experience for peer equipment transformation, and also provides the basis for the topic of better value-added service for the introduction of high precision equipment into China.
【學(xué)位授予單位】：上海交通大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2014
【分類號】：TN873.93

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本文編號：1428137