本文關(guān)鍵詞：硅基波導(dǎo)諧振腔特性分析與實驗研究　出處：《導(dǎo)航定位與授時》2015年02期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：給出了硅基二氧化硅波導(dǎo)諧振腔的整體設(shè)計結(jié)構(gòu)和諧振腔的傳遞函數(shù)及考慮光源線寬情況下特征參數(shù)的數(shù)學(xué)表達式。仿真分析了耦合器分光比、波導(dǎo)傳輸損耗、諧振腔腔長、激光器譜寬對諧振腔特性的影響。研究了硅基二氧化硅波導(dǎo)的加工工藝并針對其關(guān)鍵因素——光刻工藝實驗驗證了其曝光時間與顯影對波導(dǎo)芯片的影響。最后對比了實驗測試結(jié)果與理論仿真諧振曲線,吻合度良好。
[Abstract]:The overall design structure and resonant cavity transfer function of silica based waveguide resonant cavity are given, and the mathematical expression of characteristic parameters considering the width of light source is given. The influence of the splitter ratio of the coupler, the loss of the waveguide transmission, the length of the resonator cavity and the spectrum width of the laser on the characteristics of the resonator is simulated and analyzed. The processing technology of silica based waveguide is studied, and its exposure time and the effect of developing on waveguide chip are verified according to its key factor -- lithography process experiment. Finally, the experimental results are compared with the theoretical simulation resonance curve, and the coincidence degree is good.
【作者單位】： 北京自動化控制設(shè)備研究所;
【分類號】：TN814
【正文快照】： o引言 諧振式硅基集成光學(xué)陀螺是一種新型的光學(xué)陀螺,憑借其體積小、重量輕、可批量化生產(chǎn)等優(yōu)勢成為目前研究的重點。在諧振式硅基集成光學(xué)陀螺中,其角速度敏感單元一波導(dǎo)諧振腔是構(gòu)建整個陀螺系統(tǒng)的基礎(chǔ),其性能好壞直接影響著系統(tǒng)最終檢測精度因此,諧振腔加工、結(jié)構(gòu)設(shè)計及

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