發(fā)布時(shí)間：2017-12-16 12:37

  本文關(guān)鍵詞：220GHz折疊波導(dǎo)UV-LIGA微加工工藝（英文）

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【摘要】：真空電子器件的頻率正向太赫茲頻段發(fā)展,折疊波導(dǎo)慢波結(jié)構(gòu)是行波管的核心部件,由于真空器件的尺寸與波長(zhǎng)具有共渡性,頻率越高,互作用結(jié)構(gòu)的尺度越小,加工誤差的要求越嚴(yán)格。傳統(tǒng)的加工方法很難實(shí)現(xiàn)如此微小尺寸的結(jié)構(gòu),UVLIGA技術(shù)對(duì)于制造這種微型結(jié)構(gòu)是一種很有前途的方法。用UV-LIGA方法制備真空器件的慢波結(jié)構(gòu),涉及到兩個(gè)主要的問(wèn)題:一是SU8厚膠勻膠過(guò)程中如何確保其厚度及其一致性;二是橫向貫穿折疊波導(dǎo)中心的電子注通道如何成型。以220GHz折疊波導(dǎo)為研究對(duì)象,針對(duì)上述兩個(gè)問(wèn)題開(kāi)展了相關(guān)的工藝試驗(yàn),使用特制的PDMS模具,采用重力勻膠法,實(shí)現(xiàn)了大厚度SU8膠勻膠,表面平整,高度一致。在SU8光刻膠中通過(guò)專(zhuān)用夾具,嵌入透明有機(jī)絲,形成細(xì)長(zhǎng)電子注通道。而后,采用脈沖電鑄電源,在硫酸銅電鑄液中電鑄,獲得了表面平整的無(wú)氧銅微結(jié)構(gòu)。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所;中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所;北京大學(xué)應(yīng)用電子學(xué)研究所;
【基金】：supported by National Defense Pre-Research Foundation of China(9140A230202)
【分類(lèi)號(hào)】：TN814
【正文快照】： PACS:85.45.-w;84.40.FeTraveling wave tube(TWT)as an amplifier is an important technology for new types of communication,concealed metallic weapon detection,medical imaging,material science,space science and radar applications,etc.Lower frequency(lower th

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本文編號(hào)：1296070