本文關(guān)鍵詞：基于脈沖計(jì)數(shù)的零相位差跳變補(bǔ)償外差干涉信號(hào)處理方法

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【摘要】：在基于脈沖計(jì)數(shù)的外差干涉信號(hào)處理中,提出了一種零相位差跳變補(bǔ)償?shù)拇笮?shù)相位結(jié)合處理方法,可實(shí)現(xiàn)外差干涉信號(hào)處理中大小數(shù)的準(zhǔn)確結(jié)合。大數(shù)測(cè)量采用對(duì)兩路干涉信號(hào)進(jìn)行脈沖計(jì)數(shù)同步對(duì)減的方法實(shí)現(xiàn),小數(shù)測(cè)量采用混頻降頻方法來提高測(cè)量分辨率,并采用鎖相環(huán)對(duì)拍頻信號(hào)跟蹤產(chǎn)生用于混頻降頻的動(dòng)態(tài)基準(zhǔn)信號(hào),解決外差信號(hào)拍頻變化的問題,以提高小數(shù)測(cè)量分辨率的穩(wěn)定性�；谛盘�(hào)發(fā)生器對(duì)實(shí)現(xiàn)的外差干涉信號(hào)處理方法進(jìn)行了驗(yàn)證,包括測(cè)量精度、大數(shù)計(jì)數(shù)、小數(shù)相位測(cè)量。構(gòu)建了雙通外差干涉位移測(cè)量光路,通過對(duì)精密導(dǎo)軌位移的測(cè)量來驗(yàn)證大小數(shù)結(jié)合處理方法的有效性和信號(hào)處理方法在外差干涉位移測(cè)量應(yīng)用中的可行性。
【作者單位】： 北京理工大學(xué)光電學(xué)院;浙江理工大學(xué)納米測(cè)量技術(shù)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51327005) 教育部創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)基金(IRT13097)
【分類號(hào)】：TN911.7
【正文快照】： heterodyne interferometry;resolutionOCIS Codes 120.3180;120.3940;120.5050;260.31601引言激光外差干涉測(cè)量技術(shù)具有長(zhǎng)度基準(zhǔn)溯源性、響應(yīng)速度快、測(cè)量范圍大、信噪比高、能夠克服方向模糊且不易受光強(qiáng)變化的影響等優(yōu)點(diǎn),被廣泛用于幾何量的精密測(cè)量,精密儀器的檢測(cè)與校準(zhǔn),

【參考文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1227378