文中綜合考慮變形鏡(DM)薄膜殘余應力和表面雜質(zhì)的影響,采用ANSYS有限元分析軟件建立了鍍高反射膜系的變形鏡應力分析模型,進而基于應力-壽命(S-N)曲線和Miner累積損傷理論,分析了波前校正過程中變形鏡的疲勞損傷特性,并詳細討論了變形鏡薄膜殘余應力和不同尺寸的表面雜質(zhì)對變形鏡疲勞壽命的影響。研究結(jié)果表明,在熱-機械耦合作用下,熱效應的存在會加速變形鏡的疲勞損傷。對于給定的待校正畸變波前,隨著變形鏡薄膜殘余應力的增大,變形鏡承受的動態(tài)循環(huán)載荷越強,其疲勞壽命越短,且殘余應力主要對變形鏡鏡面疲勞壽命影響較大;而當變形鏡薄膜殘余應力一定時,畸變波前PV值越大,其表面應力越大,致使疲勞壽命也隨之縮短。在強激光連續(xù)輻照下,當表面雜質(zhì)大于一定尺寸時,變形鏡疲勞壽命隨著雜質(zhì)粒子尺寸的增大而減小,而當雜質(zhì)粒子尺寸較小時,則對變形鏡的疲勞壽命影響不大。此外,薄膜殘余應力的存在將進一步加劇表面雜質(zhì)對變形鏡的疲勞損傷。

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【文章目錄】：
0 引言
1 理論模型
    1.1 應力分析模型
    1.2 疲勞分析模型
    1.3 變形鏡建模
2 變形鏡疲勞壽命分析
    2.1 殘余應力對變形鏡疲勞壽命的影響
    2.2 表面雜質(zhì)對變形鏡疲勞壽命的影響
3 結(jié)論



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