發(fā)布時(shí)間：2017-06-07 13:03

  本文關(guān)鍵詞：一種氣浮輸運(yùn)導(dǎo)軌的建模仿真與實(shí)驗(yàn)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：目前許多行業(yè)需要利用非接觸的方式來輸運(yùn)清潔和易損的產(chǎn)品,類如硅晶片、食品和新噴涂的物體等.文中介紹了一種利用氣流粘性牽引原理驅(qū)動(dòng)平面物體實(shí)現(xiàn)非接觸運(yùn)動(dòng)的裝置,針對(duì)壓力分布和粘性力等基本特性進(jìn)行了理論和實(shí)驗(yàn)研究.文中建立了雷諾方程與不可壓縮Navier-Stokes方程相耦合的理論模型,并通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了模型的正確性.仿真和實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:氣膜壓力在垂直于驅(qū)動(dòng)單元內(nèi)氣流方向上呈對(duì)稱分布,而沿氣流方向呈非對(duì)稱分布.此外,氣膜壓力微分結(jié)果表明:粘性力實(shí)際上是由驅(qū)動(dòng)單元正力與分隔區(qū)阻力共同作用的結(jié)果,它受到氣膜間隙高度和出口吸氣流量的影響.
【作者單位】： 江蘇科技大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;無錫氣動(dòng)技術(shù)研究所有限公司;浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 氣膜 粘性 非接觸 壓力分布
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51205174) 中國(guó)博士后科學(xué)基金資助項(xiàng)目(2014M550309)
【分類號(hào)】：TH22
【正文快照】： 半導(dǎo)體晶圓、食品和新噴涂的工件等物品在生產(chǎn)加工中極易受到污染或者損壞,對(duì)其需要采用無摩擦非接觸的輸運(yùn)方式.基于氣動(dòng)技術(shù)構(gòu)建的輸運(yùn)系統(tǒng)具有清潔無污染、不發(fā)熱、不生磁等特點(diǎn),是當(dāng)前非接觸式輸運(yùn)領(lǐng)域的主流[1],其主要包括兩種實(shí)現(xiàn)方式:真空吸附[2-3]和靜壓氣浮[4-6].然

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 萬兆惠,華景生;粗細(xì)顆粒同時(shí)存在時(shí)的流動(dòng)阻力[J];山地研究;1991年03期

2 ;[J];;年期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 袁野;基于力傳感器的粘性力與彈性力測(cè)試技術(shù)的研究及應(yīng)用[D];浙江大學(xué);2011年

  本文關(guān)鍵詞：一種氣浮輸運(yùn)導(dǎo)軌的建模仿真與實(shí)驗(yàn)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

，

本文編號(hào)：429097