低閾值高通量被動(dòng)微閥的研制與性能研究
【文章頁(yè)數(shù)】:4 頁(yè)
【部分圖文】:
圖2微閥結(jié)構(gòu)示意圖及制作實(shí)物圖
為實(shí)現(xiàn)微閥的低成本、快速制作,采用3D打印與紫外精密激光加工的技術(shù)制作微閥零件。蓋板和底板采用3D打印制作,材料為光敏樹脂(SOMOSImagine8000,DSM)。密封墊(原材料為無(wú)色透明硅膠膜)和薄膜的原材料(原材料為涂覆有聚二甲基硅氧烷PDMS的聚合物薄膜)直接從市場(chǎng)....
圖3微閥流量測(cè)試實(shí)驗(yàn)裝置示意圖
測(cè)試微閥流量的實(shí)驗(yàn)裝置示意圖如圖3所示。該實(shí)驗(yàn)裝置由空壓機(jī)、壓力控制器、電腦終端、水罐、測(cè)試樣件、流量傳感器和廢液罐組成。其中,空壓機(jī)可產(chǎn)生壓縮空氣用于驅(qū)動(dòng)液體,電腦終端調(diào)節(jié)壓力控制器(OB1BaseMkIII,Elveflow)輸出特定技術(shù)參數(shù)的測(cè)試氣壓,水罐為密閉的罐體且....
圖4微閥流固耦合仿真結(jié)果
圖4(b)描述了微閥入口液體壓力從1kPa增大至15kPa時(shí)的薄膜變形位移以及微閥輸出流量的變化過程。由薄膜變形位移曲線可知,當(dāng)液體壓力從1kPa增大至6kPa時(shí),薄膜的變形量急劇增大,變形位移從32μm迅速增大至85μm,相應(yīng)的位移增量為53μm。當(dāng)液體壓力從6....
圖5微閥的壓力流量曲線
為進(jìn)一步驗(yàn)證微閥的穩(wěn)流調(diào)控能力,對(duì)制作的微閥樣件進(jìn)行流量測(cè)試實(shí)驗(yàn),并研究其壓力流量特性。在實(shí)驗(yàn)中,設(shè)置測(cè)試氣壓即微閥的入口液體壓力依次從1kPa逐步增大至15kPa,測(cè)試微閥在相應(yīng)液體壓力下的流量,記錄的壓力-流量曲線如圖5所示。由微閥的流量曲線可知,隨著入口液體壓力的增大,....
本文編號(hào):3908084
本文鏈接:http://sikaile.net/kejilunwen/jixiegongcheng/3908084.html