物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的飛速發(fā)展對柔性可穿戴電子設(shè)備提出了迫切需求,而作為電子設(shè)備不可或缺的部分,存儲器勢必也需要向柔性化的方向發(fā)展。阻變存儲器具有高速、低功耗、非易失、結(jié)構(gòu)簡單、選材廣泛等特性,被視為未來柔性存儲器的重要候選器件之一。在應(yīng)變條件下,阻變存儲器的薄膜開裂無疑會導(dǎo)致器件性能失效。因此,近年來除研究應(yīng)變對材料性質(zhì)和器件性能的影響外,研究人員主要從選擇合適的阻變材料和優(yōu)化器件制備工藝方面不斷嘗試,取得了豐碩的成果,大幅提升了器件的柔韌性。為構(gòu)建高性能的柔性阻變存儲器,許多材料已被開發(fā)作為存儲介質(zhì),包括無機、有機、有機-無機復(fù)合或雜化材料等。同時,金屬、金屬合金、碳/硅材料、氮化物、導(dǎo)電氧化物等已被嘗試用作電極材料,聚酰亞胺(PI)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚二甲基硅氧烷(PDMS)等也已被嘗試用作柔性襯底。此外,器件的制備起初主要采用全氣相法,條件相對苛刻,通常需要高真空甚至高溫環(huán)境。近年來的研究工作將氣相-液相混合甚至是全液相法引入到柔性阻變存儲器的制備工藝中,初步實現(xiàn)了器件的簡單、低溫和快速制備。本文歸納了柔性阻變存儲器的研究進(jìn)展,分別對器件材料...

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