發(fā)布時間：2021-08-14 20:27

　　基于磁隧道結的磁隨機存儲器的巨大市場潛力有望取代傳統(tǒng)的靜態(tài)與動態(tài)隨機存儲器,成為新一代通用存儲器。非晶重稀土-過渡合金薄膜具有良好的垂直磁各向異性和穩(wěn)定性,可應用于磁隨機存儲器領域。其中GdFeCo、TbFeCo等傳統(tǒng)磁光存儲介質薄膜目前也廣泛應用于熱點超快磁記錄和磁電器件上,研究其制備方法和垂直磁特性具有非常重要的意義。基于以上現狀,本論文成功制備了稀土-過渡金屬（Gd,Tb）-FeCo薄膜以及軟/硬磁多層膜結構,系統(tǒng)的研究了薄膜和多層膜的磁電特性。主要研究內容和結論如下:首先,復合靶采取FeCo合金靶和稀土Gd貼片的組合方式,通過射頻磁控濺射制備了一系列非晶GdFeCo薄膜。實驗結果表明,濺射功率能夠有效調節(jié)薄膜磁特性,隨著濺射功率的增加,薄膜磁特性由富過渡（TM-rich）向富稀土（RE-rich）轉變。這歸因于濺射功率對非晶GdFeCo薄膜成分的微調,并通過熱磁曲線的測量得到驗證。其次,制備了結構為Si/Ta/MgO/GdFeCo/MgO多層膜樣品。MgO作為電介質層,使得多層膜結構可施加適當外加電場。利用極向磁光克爾效應表征方法,研究了電場對薄膜磁電特性的影響。結果表明,負偏... 

【文章來源】：華僑大學福建省

【文章頁數】：59 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

(a)平面結構磁隧道結示意圖；(b)垂直結構磁隧道結示意圖

基于自旋轉移矩的磁隨機存儲單元的結構示意圖

自旋轉移矩原理示意圖

【參考文獻】：
期刊論文
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博士論文
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碩士論文
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[3]基于交換耦合的軟/硬磁復合介質單元的微磁學研究[D]. 侯志華.電子科技大學 2017
[4]交換耦合軟/硬磁雙層膜結構的反磁化機制與磁動力學性質的研究[D]. 葛素琴.中南大學 2014
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本文編號：3343131