【摘要】：閃存(Flash Memory)作為存儲(chǔ)數(shù)據(jù)和應(yīng)用程序的部件,目前廣泛應(yīng)用于手機(jī)、存儲(chǔ)卡、工業(yè)設(shè)備以及數(shù)碼產(chǎn)品等。1984年,東芝公司的發(fā)明人Fujio Masuoka首先提出了快速閃存存儲(chǔ)器(此處簡(jiǎn)稱閃存)的概念。閃存的特點(diǎn)是非易失性,其記錄速度也非�？�,并且可以達(dá)到100萬(wàn)次的擦寫(xiě),保存數(shù)據(jù)10年。 閃存可以分為NOR和NAND兩種。NOR多用于應(yīng)用程序的存儲(chǔ),手機(jī)、汽車電子、網(wǎng)絡(luò)設(shè)備等常會(huì)應(yīng)用到它。而NAND常常被應(yīng)用于諸如SD、USB Sticks等存儲(chǔ)卡上。 隨著工藝的發(fā)展,NOR Flash已經(jīng)從原先65nm進(jìn)入了45nnm的時(shí)代,作為業(yè)內(nèi)首款45nm的NOR Flash,要完成生產(chǎn)驗(yàn)證必定面臨許多新的挑戰(zhàn)。從最初的不成熟到最后可以大規(guī)模生產(chǎn),之間必不可少的是各種改進(jìn)的工作。改進(jìn)的方法有很多,而失效分析是其中非常有效的手段。同時(shí)在產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)以后,失效分析仍然是處理客戶退回次品的主要手段,為滿足持續(xù)改進(jìn)的要求提供了技術(shù)上的支持。 產(chǎn)品規(guī)模生產(chǎn)前的驗(yàn)證一般遵循這樣的步驟：先設(shè)定質(zhì)量和可靠性目標(biāo),收集數(shù)據(jù),通過(guò)對(duì)于失效品的研究,將研究的結(jié)果反饋給FAB等上游部門,制定相應(yīng)的改進(jìn)措施提高產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性,最終達(dá)到設(shè)定的目標(biāo),使大規(guī)模生產(chǎn)成為可能。 論文分為四章,首先介紹了NOR Flash的基本工作原理和45nm的新工藝及其帶來(lái)的變化。接著通過(guò)對(duì)45nm NOR Flash實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)前驗(yàn)證的過(guò)程中失效品的分析,說(shuō)明了如何將失效分析的基本原理運(yùn)用到新工藝上,解決了生產(chǎn)驗(yàn)證過(guò)程中遇到的三個(gè)問(wèn)題：篩選良率低、質(zhì)量驗(yàn)證DPM(每百萬(wàn)顆芯片中失效的個(gè)數(shù))高和封裝的可靠性驗(yàn)證中有失效芯片。通過(guò)失效分析的手段,最終針對(duì)各類問(wèn)題分別找到了芯片失效的原因和對(duì)應(yīng)的解決方法。在解決方法落實(shí)之后,通過(guò)最終數(shù)據(jù)收集證明了這些方法的有效性,使產(chǎn)品無(wú)論在良率、質(zhì)量和可靠性上都滿足了要求,達(dá)到了規(guī)模生產(chǎn)的條件。
【學(xué)位授予單位】：復(fù)旦大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2011
【分類號(hào)】：TP333
【圖文】：

圖1.1.1Flash的基本單元Flash從基本結(jié)構(gòu)上分為NAND和NOR兩種。N不需要在漏端(Drain)和源端(Source)打接觸優(yōu)勢(shì)，廣泛用于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)。而NORFlash一般將Source連接在一起，在陣列，如圖1.1.2所示，連接Ga七e的為行(稱為Row的為列(稱為Column或者Bi七line)，然后在Row這樣就可以實(shí)現(xiàn)隨機(jī)讀寫(xiě)了。NORFlash多用于應(yīng)路由器等。

圖1.1.2NORFlash的陣列結(jié)構(gòu)當(dāng)然對(duì)于這樣的陣列Row和Cdumn不能無(wú)限制的擴(kuò)大構(gòu)，將一塊芯片的存儲(chǔ)單元分為面(Plane)、區(qū)塊(BlockBloek一般由2048根Column乘以256根Row組成，每個(gè)32個(gè)Block，整個(gè)芯片又可以有十幾到幾十個(gè)Plane。圖Plane有8個(gè)Block，每個(gè)而整個(gè)芯片有16個(gè)Plane。娜娜adsss飛飛飛獷獷丫丫飛飛‘一一卜翎」.門lll樂(lè)石刁刁{石翻翻卜爪.}.悅州州匾石刁刁瓜孟孟蕊石飛飛l蕊召召獷獷獷獷獷獷獷TTTlllllllllllllllllllllllllllllllllllllllllllllllllllllllllllllllllllllll價(jià)價(jià)價(jià)價(jià)價(jià)價(jià)價(jià)價(jià)價(jià)下下】】[[[髦髦!!!lllll】】氰氰mmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmmm淮淮淮獷獷丫丫熬熬獷獷丫丫二二盛甄甄lll獷獷嘴嘴.寫(xiě)留留巍巍獷獷瑰瑰獷獷的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的的翎翎翎獷獷丫丫翎翎獷獷丫丫;巾巾翎翎獷獷丫丫翎翎rrr111獷獷自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自自橇橇橇獷獷穿穿熬熬毅毅橇橇獷獷二二贏刁刁瓜刃刃1.，腸洲洲石刁刁瓜翻翻匾孟，，瓜易易生生生生生生生生生飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛飛OOOOOOOOOOOOOOOOO...靡靡lll暨暨}}}lll}}}lll巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾巾稚稚稚獷獷寥寥稚稚獷獷澡澡獷獷OOO瑰瑰獷獷丫丫舜舜獷獷碾碾曠曠

將一塊芯片的存儲(chǔ)單元分為面(Plane)、區(qū)塊(Block)，一般來(lái)說(shuō)，每個(gè)Bloek一般由2048根Column乘以256根Row組成，每個(gè)Plane一般有8、16或32個(gè)Block，整個(gè)芯片又可以有十幾到幾十個(gè)Plane。圖1.1.3的結(jié)構(gòu)中，每個(gè)Plane有8個(gè)Block

【共引文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2781187