【摘要】： 在0.18um工藝下的EPROM(OTP)的研發(fā)過程中,晶圓測試達到較高的良率后,數(shù)據(jù)保持能力的驗證就是一項重要的工作。而一般以150℃下1000小時的加速實驗作為驗證的標準。通常在非加速條件下進行,耗時較長。在市場競爭日趨激烈的環(huán)境下,企業(yè)迫切需要縮短新產(chǎn)品的可靠性驗證時間。本文針對EPROM的保持能力的工藝優(yōu)化方面做了一些實驗研究和方法探討。根據(jù)在不同溫度下的數(shù)據(jù)保持能力的驗證,分析出相應(yīng)的失效模式,并同時做一些相應(yīng)的工藝改進,不斷提高產(chǎn)品的品質(zhì)。
【學位授予單位】：蘇州大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2010
【分類號】：TP333.7

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本文編號：2660807