【摘要】：本設(shè)計(jì)介紹了基于MCS-51系列8051單片機(jī)的甩干機(jī)控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。在半導(dǎo)體工藝中把做好的芯片從大源片上分離開(kāi)來(lái),需要一步叫劃片的工藝。劃片工藝是使用金剛砂輪把硅片切開(kāi),在切割的過(guò)程中能產(chǎn)生大量的硅片和金屬等的碎渣，這些碎渣會(huì)對(duì)芯片造成沾污，這就需要在劃片工藝中形成的礦渣進(jìn)行清除，方法是對(duì)硅片進(jìn)行清洗。傳統(tǒng)的清洗方法是用高壓水槍噴水清洗，或者用棉絨等蘸水擦洗，然后用氮?dú)獯蹈伞＿@些方法容易造成對(duì)做好的芯片表面的劃傷或者二次污染，清洗效果不佳。 所以需要有一種專(zhuān)門(mén)清洗這種硅片的設(shè)備，既能清洗干凈，又不會(huì)產(chǎn)生二次污染。國(guó)外對(duì)此工藝的處理，先進(jìn)的大公司使用的是清洗機(jī)，但一般使用PLC控制，功能強(qiáng)大，但成本很高，不利于大范圍的推廣使用。結(jié)合此經(jīng)驗(yàn)，用兩個(gè)MSC-51系列8051單片機(jī)代替PLC,既能完成清洗工藝，又降低了成本。這種清洗機(jī)，首先利用噴出的氮?dú)夂透邏核畞?lái)清洗硅片，然后停止噴水，，利用高速旋轉(zhuǎn)和噴出的氮?dú)猓瑢⒐杵蹈�，使硅片的清洗和干燥比較均勻。主要完成的功能包括按鍵控制、LCD顯示、抽真空吸片、低速旋轉(zhuǎn)沖洗、高速旋轉(zhuǎn)甩干、步進(jìn)電機(jī)擺動(dòng)、排水以及由氣缸控制的開(kāi)關(guān)門(mén)動(dòng)作。單片機(jī)系統(tǒng)輸出的信號(hào)經(jīng)三極管放大后，由驅(qū)動(dòng)芯片進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制12V繼電器，再控制電磁閥和直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)器，從而控制各功能部分動(dòng)作。同時(shí)單片機(jī)輸出一定頻率的脈沖信號(hào)和高低電平信號(hào)到步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器，控制步進(jìn)電機(jī)的擺動(dòng)速率和方向。單片機(jī)掃描鍵盤(pán)狀態(tài)，根據(jù)狀態(tài)進(jìn)行特定的動(dòng)作。各個(gè)檢測(cè)傳感器把檢測(cè)到的信號(hào)放大后輸入到單片機(jī)中進(jìn)行運(yùn)算處理。顯示單片機(jī)并行輸出信號(hào)到LCD進(jìn)行顯示當(dāng)前系統(tǒng)的各種狀態(tài)。
【圖文】：

ULN2003 是高耐壓、大電流達(dá)林頓陣列，由七個(gè)硅 NPN 達(dá)林頓管組成。特點(diǎn)：1.每一對(duì)達(dá)林頓都串聯(lián)一個(gè) 2.7k 的基極電阻，在 5V 的工作電壓下它TL 和 CMOS 電路直接相連，可以直接處理原先需要標(biāo)準(zhǔn)邏輯緩沖器來(lái)處理。2.工作電壓高，工作電流大，灌電流可達(dá) 500mA，并且能夠在關(guān)態(tài)時(shí)承受電壓，輸出還可以在高負(fù)載高電流并行運(yùn)行。

步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器PLUS-為脈沖信號(hào)（負(fù)信號(hào)，低電平有效）
【學(xué)位授予單位】：中國(guó)海洋大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2012
【分類(lèi)號(hào)】：TP273;TP368.1

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前1條

1 何立民;;我國(guó)單片機(jī)技術(shù)的應(yīng)用與發(fā)展[J];電子設(shè)計(jì)技術(shù);2000年11期

本文編號(hào)：2519493