【摘要】：針對三維疊層存儲器三溫測試時的溫度監(jiān)測難題,提出了一種利用ATE測試設備測量引腳寄生二極管正向壓降,從而監(jiān)測存儲器內部芯片溫度的技術。該技術還可用于存儲器并聯(lián)引腳開路失效的故障分析。通過理論推導,得出存儲器多引腳并聯(lián)結構二極管正向壓降與溫度之間的線性關系,并通過了試驗驗證。
[Abstract]:In order to solve the problem of temperature monitoring in three-temperature test of three-dimensional stacked memory, a technique of measuring the forward voltage drop of parasitic diode of lead by ATE test equipment is proposed, which can be used to monitor the temperature of chip inside the memory. The linear relationship between forward voltage drop and temperature of diode in parallel structure is verified by experiments.
【作者單位】： 西安微電子技術研究所;
【分類號】：TK311;TP333

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本文編號：2215161