本文關(guān)鍵詞：鋁合金化學(xué)機械拋光工藝技術(shù)的研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

《湖南大學(xué)》 2013年

鋁合金化學(xué)機械拋光工藝技術(shù)的研究

梅錦波  

【摘要】：良好的機械性能、密度小使得鋁合金在對產(chǎn)品要求輕便的工程領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。優(yōu)異的物理機械性能有助于鋁合金擴展在工程上應(yīng)用范圍，但鋁合金質(zhì)地軟、硬度低，使其在加工過程中極易出現(xiàn)劃傷、磨損等表面缺陷。特別是一些關(guān)鍵或者重要的精密零部件常需要實現(xiàn)極高精度、近無缺陷的超精密加工�；瘜W(xué)機械拋光技術(shù)(Chemical mechanical polishing,CMP)作為一種超精密加工技術(shù)，可以實現(xiàn)大平面表面的全局平坦化，得到完美的鏡面效果。本文旨在通過理論分析和拋光工藝實驗，對鋁合金化學(xué)機械拋光過程的去除機理和工藝進(jìn)行深入系統(tǒng)的研究。 介紹了鋁合金在工業(yè)中的應(yīng)用前景；簡要闡述了鋁合金的表面處理技術(shù)及其各自優(yōu)缺點；回顧了CMP技術(shù)的主要研究成果，包括CMP的加工原理和拋光工藝研究；進(jìn)而提出了本文的研究結(jié)構(gòu)和內(nèi)容。 分析了CMP過程中的基本原理，在此基礎(chǔ)上，對鋁合金CMP過程中的化學(xué)反應(yīng)原理和機械作用原理進(jìn)行了分析，闡明了鋁合金CMP過程中的材料去除的原理。介紹了國內(nèi)外關(guān)于CMP機理的理論研究，明確拋光過程中影響拋光效果的主要參數(shù)。 采用正交實驗法對鋁合金粗拋試驗進(jìn)行研究，采用單因素法對鋁合金精拋試驗進(jìn)行研究。分析了粗拋過程中各工藝參數(shù)對拋光效果影響的顯著程度，分析了精拋過程中各工藝參數(shù)對材料去除率和表面粗糙度的影響。試驗過程中采用精密天平稱取樣品重量，采用精密粗糙度儀和超景深顯微鏡測量拋光后樣品的表面粗糙度和表面形貌。 從摩擦熱的產(chǎn)生原理上分析了拋光溫度升高的原因，揭示了工藝參數(shù)對拋光溫度的影響規(guī)律。分析了拋光工藝參數(shù)對拋光溫度的影響和工藝參數(shù)對表面粗糙度的影響；討論了拋光溫度與工件表面質(zhì)量之間的關(guān)系。 本文對鋁合金拋光工藝技術(shù)的研究成果揭示了工藝參數(shù)影響的基本規(guī)律，其研究有助于改善該工藝在工業(yè)生產(chǎn)中的應(yīng)用。

【關(guān)鍵詞】：
【學(xué)位授予單位】：湖南大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2013
【分類號】：TG178;U466
【目錄】：

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