本文關(guān)鍵詞：二氧化釩納米周期點(diǎn)陣的光學(xué)特性

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【摘要】：為了得到相變溫度低且性能優(yōu)越的智能窗光學(xué)材料,基于時(shí)域有限差分法模擬計(jì)算了不同結(jié)構(gòu)的VO_2納米周期點(diǎn)陣相變前后的光學(xué)特性,優(yōu)選出最佳的VO_2納米周期點(diǎn)陣結(jié)構(gòu).采用直流磁控濺射和后退火工藝在玻璃襯底上制備VO_2薄膜,再利用掩膜光刻的方法制備VO_2納米周期點(diǎn)陣結(jié)構(gòu),測(cè)試其組分結(jié)構(gòu),反射和透過率曲線.結(jié)果表明,填充比為0.74的圓形納米周期點(diǎn)陣的相變溫度有效降低了約25℃,在波長(zhǎng)為1700 nm處的透過率改變量達(dá)到39%,透過率整體高于VO_2薄膜,呈現(xiàn)出良好的相變光學(xué)特性,說(shuō)明通過調(diào)控VO_2納米周期點(diǎn)陣的結(jié)構(gòu)可以有效提升材料的光學(xué)特性.
【作者單位】： 上海理工大學(xué)光電信息與計(jì)算機(jī)工程學(xué)院;上海市現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;上海電力學(xué)院計(jì)算機(jī)與信息工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： VO 納米周期點(diǎn)陣 光學(xué)特性 熱致相變
【基金】：國(guó)家“863”計(jì)劃(2006AA03Z348) 教育部科學(xué)技術(shù)研究重點(diǎn)項(xiàng)目(207033) 上海市科學(xué)技術(shù)委員會(huì)科技攻關(guān)計(jì)劃(06DZ11415) 上海市教育委員會(huì)科技創(chuàng)新重點(diǎn)項(xiàng)目(10ZZ94) 上海市領(lǐng)軍人才計(jì)劃資助項(xiàng)目~~
【分類號(hào)】：TQ135.11;TB383.1
【正文快照】： 引言VO2薄膜高于相變溫度時(shí)呈金屬態(tài),低于相變溫度時(shí)呈半導(dǎo)體態(tài).相變是其晶體結(jié)構(gòu)從單斜晶結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變?yōu)樗姆骄ЫY(jié)構(gòu)的過程[1],同時(shí),這種相變特性也導(dǎo)致了光學(xué)特性的顯著變化,具體體現(xiàn)為在紅外波段相變前后的透過率變化很大,在可見光區(qū)域圖的變化不大1由YEE元胞組成的VO.因此,基于

【相似文獻(xiàn)】

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